(2)磁控溅射法：在高度真空中冲入适量的氩气，在阴极（柱状靶或平面靶）和 阳极（镀膜室壁）间施加几百 K 直流电压,在镀膜室里产生磁控型异常辉光放电，从 而使得氩气发生电离的方法。

(3)激光熔覆法：在基材的表面上添加熔覆材料，利用高能激光束使熔覆材料与 基材表面薄层一起熔凝后，在基层表面形成与冶金结合的添料熔覆层的方法。

(4)热喷涂法：利用高温把喷涂材料加热到熔化或是半熔化的状态，并以一定的 速度喷射沉积到经过预处理的基体表面进而形成涂层的方法。

(5)机械合金化：将金属或者合金粉末放置于高能球磨机当中，利用粉末颗粒与 磨球长时间碰撞，粉末颗粒在这过程之中不断的碎裂，从而导致粉末颗粒中的原子 扩散，进而获得合金化粉末的一种粉末制备方法。文献综述

以上的2、3、4这三种方法都是获得薄膜的制备方法。

1。3 共晶高熵合金形成的依据

高熵合金概念提出的主要依据如下： 熵是热力学上表示一个系统中混乱程度的参数，熵值越大，系统的混乱度也越

大。从热力学角度，吉布斯自由能 G 与焓 H，绝对温度 T 及 S 的关系式 1-1[1]：

在一个系统中， G 的值越小，则系统越稳定。当其他条件不变，若 S 增加， 则可使 G 显著减小，使系统变的稳定。根据 Boltzmann 熵并结合系统的复杂度公式， 就可解出 n 种元素根据等摩尔比混合形成固溶体时的摩尔混合熵 Sconf  ，计算如式

=-R Ln n （1-2）

其中 k 为 Boltzmann 常数，Ω是混合方式的数目，R 是气体常数（即 R=8。314J/K·mol）， 通过该式推算，由 3、4、5、6、7、8、9 元所组成的等摩尔合金，其 Sconf 分别是 1。1R、 1。39R、1。61R、1。79R、1。95R、2。08R、2。2R。当合金主元数 n 5 时，合金形成固溶 体，不易出现金属间化合物，因此高的混合熵对合金起着重要作用。

高熵合金在提出之后，长期以来一直被研究学者普遍认为其组织单一，仅仅由 树枝晶和枝晶间组织组成；组成相也只有单相或双相固溶体相。但是经过许多人的 实验研究，发现高熵合金中元素之间存在着类似二元、三元相图的关系。图 1-1 是童 重缙等人[3]通过实验研究验证，以 Al 含量的变化作为横坐标对 AlxCoCrCuFeNi 合金 做出的相图。

图 1 -1 AlxCoCrCuFeNi 合金相图随 Al 含量的变化的相图[3]

既然高熵合金中存在着类似的关系，那么也许存在着其他的如共晶、金属间化 合物之类的组织和相。经过多年的研究，高熵合金的凝固组织和相结构呈现出多样 性。其中有代表性的当属共晶系高熵合金的开发以及金属间化合物相的发现。

1。4。 共晶高熵合金的研究成果

1。4。1 CoFeNixVMoy     高熵合金中不同元素比对于共晶组织的影响

Jiang 等[4]为了探究 CoFeNiVMo 高熵合金中 Ni 元素和 Mo 元素对于合金的影响， 采用了控制变量法，分别制备了 CoFeNiVMo0。2 、CoFeNiVMo0。4 、CoFeNiVMo0。6 、

CoFeNiVMo0。8 、 CoFeNiVMo 、 CoFeNi1。2VMo 、 CoFeNi1。4VMo 、 CoFeNi1。6VMo 、 CoFeNi1。8VMo 、 CoFeNi2VMo 进 行 观 察 研 究 和 分 析 。 发 现 CoFeNiVMo0。8 和 CoFeNi2VMo 合金中都出现了共晶组织。如图 1-2。来:自[优.尔]论,文-网www.youerw.com +QQ752018766-

图 1-2 CoFeNiVMo0。8 共晶高熵合金和 CoFeNi2VMo 共晶高熵合金的分别在高低两种不同倍率下 的 SEM 照片