(3) 采用电子束蒸发法，以PTFE为靶材，石英为基体，研究不同粗糙度对所制备的PTFE薄膜的疏水性的影响。

2  薄膜的制备工艺

物理气相沉积法是指通过真空蒸发或离子溅射、磁控溅射等方法将靶材上的原子或分子蒸发或溅射出来，然后沉积到基体上形成薄膜材料的方法。PVD法是制备硬膜材料常用的方法，与CVD法相比，PVD法的沉积温度较低，不易引起基底的变形开裂以及膜层性能的下降。制备PTFE薄膜常用的PVD方法有电子束蒸发、活化反应蒸发、射频溅射、离子束溅射、离子团束技术、直流（或交流）反应磁控溅射等