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2.2.1 光偏转技术
光偏转技术在激光超声检测中应用十分广泛,具有搭建简单、受环境影响小等优点,这里介绍下其最常见的刀口法,原理如图2.1:超声波在样品上传播会引起样品表面的微小扰动,当探测光聚焦在被检测样品上时,反射光会因这一微小扰动而发生偏转(当探测光斑直径<最短声波长),这种偏转会携带着超声的信息。携带信息的反射光再经过聚焦,被刀口遮住一部分,另一部分再汇聚至光电探测器上,根据所接收到信号的光强变化来判断声波的信息。
图 2.1 光偏转技术探测超声波示意图
2.2.2 双D型镜法
原理如下图所示:探测光先经过一片1/2波片,再经过一个偏振分光棱镜(PBS),然后传播至一片反射镜垂直打到样品表面,为了不让反射后的光束沿原路径返回,再在反射镜与样品之间加一片1/4波片,再用反射镜将从样品反射的光束引导至双D型镜上,调整镜面使其垂直照射至光电探测器上。相比传统的刀口法,改进的检测接收到光斑面积更大,所以灵敏性更高,更加精确。
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