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    从上式可以看出,采用绝对测量法,最终结果中不包含任何表面的面形信息,降低了对干涉仪及样品面形的精度要求,其测量的结果仅与干涉仪的测量分辨率和重复性精度有关,对于测量重复性精度达到λ/20的干涉仪来说,30mm厚度的样品光学均匀性测量精度可达到〖10〗^(-7)量级。
    在理论上,测量出4个干涉腔长形成的干涉波面分布,就可以计算出材料的光学均匀性,但在实际测量中,如果没有进行仔细的测量规划,可能会形成多个面同时发生干涉的现象,无法采集干涉图样并获得干涉波面分布,使得测量无法进行。
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