摘要随着科技水平的不断更新进步，PSD作为一种光电效应器件，由于其高速度、高分辨率、信号处理简单等优点，应用前景越来越广泛，正被越来越多的人所熟知。本文从PSD出发，主要介绍了它的工作原理以及与其他探测器的对比，例如CCD、象限探测器等，并详细探讨了其信号处理技术，最后，对于实际应用进行了举例论证。63711

毕业论文关键词  PSD  CCD  信号处理技术

Abstract  PSD is a kind of photoelectric devices.Along with the science and technology unceasing renewal progress,Because of its high speed, high resolution, simple signal processing is being more and more widely used,and  more and more people are known.In this paper, starting from the PSD,Mainly introduces its working principle as well as compared with other detectors.For example, CCD, quadrant detector,And discusses the signal processing technology.Finally, to illustrate the practical application.

Keywords  PSD  CCD  signal processing technology

摘 要 - I -

Abstract - II -

第一章 绪论 - 2 -

1.1 光电位置探测器概述 - 2 -

1.2 国内外研究现状和发展趋势 - 3 -

1.3 本文的主要内容 - 5 -

第二章 位置敏感探测器理论依据及参数 - 6 -

2.1 半导体的两种光电效应和光吸收 - 6 -

2.1.1 光吸收 - 6 -

2.1.2 p-n结中的纵向光电效应以及光电转换 - 7 -

2.1.3 p-n结中的横向光电效应 - 10 -

2.2 一维、二维PSD商品的参数示例及PSD研制品简介 - 11 -

2.2.1 一维PSD的商品参数 - 11 -

2.2.2 二维PSD的商品参数 - 12 -

2.2.3 各种PSD研制品简介 - 14 -

第三章 PSD的信号处理技术 - 16 -

3.1基本的PSD信号处理电路 - 17 -

3.2消除背景和暗电流的方法 - 18 -

第四章 PSD的应用研究 - 20 -

4.1 PSD应用原理及其应用实例 - 20 -

4.1.1 PSD应用原理 - 20 -

4.1.2 PSD应用领域 - 22 -

结论 - 26 -

致谢 - 27 -

参考文献 - 27 -

第一章  绪论

1.1 光电位置探测器概述

    光电位置敏感探测器是军事、科研以及现代工业生产中很重要的一类传感器件,可以用作光电位置探测的固体器件,它包括CCD(chargecoupled devices)、光电二极管阵列、电荷注入器件(CD)、红外焦平面阵列器件、电荷扫描器件(CSD)、象限探测器和下面要介绍的位置敏感探测器(position sensitive deteetor，PSD)等,这当中最常用的是光电二极管阵列、CCD、象限探测器和PSD。

    若干光电二极管以面阵或者线阵的形式集成在一块芯片上即光电二极管阵列，它可以用来探测光斑位置和图像，通过取样电路的驱动，将光信号转变成电信号，以扫描的方式输出。阵列中光电二极管很小，一般采用积分的工作方式，所以光敏单元的大小与距离决定了图像的分辨率，通常间距为12.5--25μm。