摘要MEMS传感器是采用微电子和微机械加工技术制造出来的新型传感器，它具有体积小、重量轻、成本低、功耗低、可靠性高、适于批量化生产、易于集成和实现智能化的特点。本文首先介绍了MEMS技术的发展，并对MEMS传感器进行了分类。然后详细的介绍了各种类型MEMS传感器的技术现状和性能指标，最新研究进展，以及主要的应用产品。对MEMS力学传感器产品进行了着重的介绍，并归纳国内外采用新型材料制作用于极端环境下压力传感器的研究情况。最后，从新材料，加工和组装技术方面对MEMS传感器的发展趋势进行了展望。64520

毕业论文关键词  MEMS  压力传感器  封装  新材料  悬臂梁

毕业设计说明书（论文）外文摘要

Title The development and application of MEMS sensors

Abstract MEMS sensor is the use of microelectronics and micro-machining technology produced a new type of sensor, It has small volume, light weight, low cost, low power consumption, high reliability, suitable for mass production, ease of integration, and realize the intelligent characteristics. This paper first introduces the development of MEMS technology, MEMS sensors were classified. Detailed description of the types of MEMS sensor technology status and performance indicators, the latest research progress, as well as major applications. Focus on the introduction of the MEMS mechanical sensor products, and summarized at home and abroad using the new materials for extreme environments pressure sensor. Finally, new materials, processing and assembly technology development trend of MEMS sensors are discussed.

Keywords  MEMS  Pressure sensor  Package  New materials  Cantilever

1  绪论 1

2  MEMS传感器分类介绍 1

2.1  MEMS力学传感器 2

2.1.1  MEMS压力传感器 3

2.1.2  MEMS 加速度计 5

2.1.3  MEMS陀螺仪 8

2.2  MEMS电学传感器 11

2.3  MEMS磁学传感器 13

2.4  MEMS热学传感器 17

2.5  MEMS光学传感器 19

2.6  MEMS声学传感器 20

3  MEMS化学传感器 23

3.1  MEMS气体传感器 23

3.2  MEMS湿度传感器 26

3.3  MEMS离子传感器 28

4  MEMS生物传感器 30

4.1  MEMS光学生物传感器 30

4.2  MEMS电化学和压电生物传感器 31

结论 35

致谢 36

参考文献 37

1  绪论

微机电系统（Microelectromechanical Systems，MEMS）是将微电子技术与机械工程融合到一起的一种工业技术。MEMS技术是采用微制造技术，在一个公共硅片基础上整合了传感器、机械元件、致动器与电子元件,它的操作范围在微米范围内。MEMS传感器的发展是以20世纪60年代霍尼韦尔研究中心和贝尔实验室研制出首个硅隔膜压力传感器和应变计为开端的。MEMS传感器是采用微电子和微机械加工技术制造出来的新型传感器，MEMS通常会被看作是一种系统单晶片(SoC)，它让智能型产品得以开发，并得以进入很多的次级市场，为包括汽车、保健、手机、生物技术、消费性产品等各领域提供解决方案。与传统的传感器相比，它具有体积小、重量轻、成本低、功耗低、可靠性高、适于批量化生产、易于集成和实现智能化的特点。MEMS 传感器正逐步占据传感器市场, 并逐渐取代传统机械传感器的主导地位, 已得到消费电子产品、汽车工业、航空航天、机械、化工及医药等各领域的青睐。同时，在微米量级的特征尺寸使得它可以完成某些传统机械传感器所不能实现的功能。论文网