摘要在长度测量，折射率测量，波长测定以及光学元件检验方面，干涉仪都起着非常重要的作用。斐索干涉仪是一种原理为等厚干涉，用来检测光学元件的面形、光学镜头的波面像差以及光学材料均匀性等的一种精密仪器。FRED软件是一种光学系统的模拟仿真软件，凡是可以用几何光学来描述的系统，都可以用它来分析。

本文介绍了几种常见的干涉仪原理和结构，并对斐索干涉仪的内部结构和原理作了详细的说明，在FRED软件上对斐索干涉仪的光学部分进行了建模，并对建模结果进行了比较详细的分析，最后讨论了模拟分析法的优势与局限性。87505

毕业论文关键词:  迈克尔逊干涉仪 FRED软件  斐索干涉仪

毕业设计说明书外文摘要

Title   The modeling of Fizeau interferometer by FRED software                 

Abstract：In the length measurement，measurement of refractive index，an optical wavelength measurement and a test of element aspects, interferometers play an important role。 Fizeau interferometer is a principle of equal thickness interference, to detect the surface shape of the optical element, optical lens wave front aberration and optical uniformity of the material as a precision instrument。 FRED software is an optical system simulation software, as long as the system can be described by the geometrical optics; you can use it for analysis。

This article describes several common interferometer principle and structure, and describes the interior of the structure and principles Fizeau interferometer, in the FRED software Fizeau interferometer optical section was modeled and makes more detailed analysis about the result of model, and finally discusses the advantages and limitations of simulation analysis method。

Keywords :  Michelson interferometer  FRED Software  Fizeau interferometer。

目   次

1  引言 1源-于Y优~尔^论:文.网www.youerw.com 原文+QQ7520`18766

1。1  干涉仪的发展历史 1

1。2  几种干涉仪的介绍 1

1。3  本论文研究的目的和主要工作 3

2  作为测试仪器的相移干涉仪 4

2。1  斐索干涉仪的结构和原理 4

2。2  FRED软件的介绍 6

2。2。1  FRED的功能 6

2。2。2  FRED的应用 6

2。2。3 FRED与ZEMAX的区别 7

3。  FRED软件对斐索干涉仪的模拟过程及模拟结果的分析 10

3。1  FRED软件对斐索干涉仪的模拟过程 10

3。2 模拟结果的分析 19

3。3  模型分析法的优势和局限性 25

结  论 27

致  谢 28

参 考 文 献 29

1  引言

1。1  干涉仪的发展历史

在60年代时期，有三个主要的方面影响了干涉仪的发展：