基于全内反射显微技术检测光学元件亚表面缺陷的驻波研究(4)
1.2.2 国内研究现状
1.3 本文主要研究内容
本文介绍了几种常用的检测亚表面损伤的方法，着重应用全内反射显微技术来检测亚表面损伤。由于元件内界面下不同深度处的驻波形式的照明强度的分布状态会受入射角度和偏振态的变化的影响，所以全内反射显微技术可以有效地检测出光学元件亚表面缺陷。对于会发生明显的改变的可见度的微小缺陷点，则能推测出其一定的深度尺寸，再使用显微镜对其进行精密调焦，就能对界面下一定深度处的缺陷成像，然后便能知道缺陷点的位置深度。
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