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1967年，英国莫林斯公司首次根据威廉森提出的FMS基本概念，研制了“系统24”。其主要设备是优尔台模块化结构的多工序数控机床，目标是在无人看管条件下，实现昼夜24小时连续加工，但最终由于经济和技术上的困难而未全部建成。 21219
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1967年，美国的怀特•森斯特兰公司建成Omni line I系统，它由八台加工中心和两台多轴钻床组成，工件被装在托盘上的夹具中，按固定顺序以一定节拍在各机床间传送和进行加工。这种柔性自动化设备适于少品种、大批量生产中使用，在形式上与传统的自动生产线相似，所以也叫柔性自动线。日本、前苏联、德国等也都先后开展了FMS的研制工作。
1976年，日本发那科公司展出了由加工中心和工业机器人组成的柔性制造单元(简称FMC)，为发展FMS提供了重要的设备形式。柔性制造单元(FMC)一般由12台数控机床与物料传送装置组成，有独立的工件储存站和单元控制系统，能在机床上自动装卸工件，甚至自动检测工件，可实现有限工序的连续生产，适于多品种小批量生产应用。 论文网
随着时间的推移，FMS在技术上和数量上都有较大发展，实用阶段，以由3－5台设备组成的FMS为最多，但也有规模更庞大的系统投入使用。
1982年，日本发那科公司建成自动化电机加工车间，由60个柔性制造单元（包括50个工业机器人）和一个立体仓库组成，另有两台自动引导台车传送毛坯和工件，此外还有一个无人化电机装配车间，它们都能连续24小时运转。
这种自动化和无人化车间，是向实现计算机集成的自动化工厂迈出的重要一步。与此同时，还出现了若干仅具有FMS基本特征，但自动化程度不很完善的经济型FMS，使FMS的设计思想和技术成就得到普及应用。
国内研究现状及水平
技术进步的浪潮同样卷入我国，国内机械制造业多品种中小批量生产的中小企业多如牛毛，传统机床加工方式虽然灵活，但自动化程度和生产效率很低。少品种、中大批量或大批量生产的重点骨干企业，后方车间、新产品试制车间仍是以分散式的万能机床为主；生产一线则多采用专能机床、组合机床和自动线，生产率虽较高，但缺乏灵活性。要打破这种劳动密集型和刚性自动化混杂的生产模式，必须采用柔性自动化生产系统等先进制造技术，以谋求增强对市场变化的响应能力。
80 年代初期，我国就开始了柔性制造系统的研究工作。原华东工学院首先从英国引进了Denford教学实验柔性制造系统（与本文第四章介绍的柔性制造系统相同），1986 年，湘谭江麓机器厂和郑州纺织机械厂从德国引进 FFS-1500和 FFS-500 柔性制造系统。华东工学院和机电部研究所、58 研究所在 1990 年10 月联合设计制造的FMS 在长春通过鉴定，并投入到生产运行。中国科技人员独立设计和开发的这条 FMS在许多关键技术上有所创新，同时总体技术水平也达到了当代国际水平。此外，大连组合机床研究所和北京机床研究所等单位也在 FMS 的研发上取得了大量的成果。这些成果，对于缩短我国和发达国家在这柔性制造领域内的差距具有深远的意义。
近年来，我国也投入大量资金增加了在柔性制造系统方向的研发，这不仅可为我国机械加工制造业赶超先进的世界制造技术奠定了良好的基础，也为进一步实施并行工程、敏捷制造、精益生产和智能制造系统创造了条件。虽然很多因素制约了 FMS 的发展，例如管理和质量控制等，但是我国还是有多家机床制造企业成功研发出了多种类型的柔性制造系统。例如，沈机集团昆明机床股份有限公司在 2008 年成功研发出 FMS 1000 型和 FMS S1600 型的柔性制造系统，并将装备在齐重数控装备制造公司，用于重型机床零件加工；FMS -80 型柔性