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    提到了超声波电机就不能不提日本。日本的超声波电机生产工艺和驱动控制技术在全世界处于领先地位,其产业化应用也是目前最为成熟的。日本几乎所有的大学和研究院都在进行研究,世界上大多数USM制造及控制技术专利都掌握在他们手中。继日本之后,美、法、德等国家相继在此领域展开研究,各自取得了一定的研究成果。值得注意的是,一些亚洲的国家和地区也在此领域获得了进展。在Minoru Kurosawa提出柱体超声波电机后,还在1994年到2000年期间和Takeshi Morita一起研究了一种用弯曲振动原理来使电机工作的的微型柱体超声波电机,这种电机采用了一种由PTZ压电陶瓷薄膜、短柱型钛金属管和电极组成的结构,它利用兰杰文型换能器侧壁受到激励时产生伸张收缩运动,这种运动导致柱体弯曲,在柱体表面产生一个行波,是一种行波型电机。这种电机最大的特点是容易实现微型化[3]。Kui Yao在2001年介绍了一种新型电机,与Minoru Kurosawa的不同,这种电机是将纵向伸缩振动转换为横向弯曲振动 [4]。超声波电机由于有着功率密度大、质量轻、外形小而灵活的特点,得到了研究者的重视,在航空航天的机载设备中得到了应用。美国将超声波电机应用于在外太空行走的微型机器人和机械臂[5,6]。法国将其用于空-空导弹的导引装置[7]。德国用于飞机的电传操纵系统中[8]。德国的H. Wetzel和法国的S. Ouchouche等人拓展了超声波电机的应用领域,他们利用行波型电机(TW-USM)改进得到多质量超声电机(MM-USM),改进后的电机作为空气制动器的驱动元件,有着优良的性能,他们同时提出了控制的方法[9]。1997年来自台湾的学者Faa-Jeng Lin等把在线训练神经元网络与超声波电机伺服驱动结合起来,这种控制方式能快速训练反馈,减小外部干扰造成的误差。1996年,韩国In-SuCha和Hea-AmPark等人针对超声波电机温度补偿问题提出采用模糊控制策略[10]。2009年泰国的Ekkachai Mujjalinvimut以D6060驱动器为样本设计了带串联电感的两相半桥逆变器,提出了速度控制方式[11]。22359
    上个世纪八十年代末,日本的超声波电机的研究情况传入我国,论文网引起了研究者的关注。我国的超声波电机产业虽然起步较晚,但发展迅速,全国多所大学和研究机构对超声波电机进行了研究,获得了一系列研究成果。清华大学的Longtu Li领导开展了此类研究,介绍了一种能将纵振动转换成弯振动的柱体超声电机;在电机微型化方面,禇祥诚等人介绍的棒状压电陶瓷微型电机直径只有1.8mm,还对电机驱动原理、制作工艺以及工作特性进行了说明[12];清华大学研制的微形超声波电机,是当时国内最小的超声波电机,其直径只有1mm;南京航空航天大学也注意到了超声波电机体积小重量轻的特点符合航空航天产业技术的要求,相继组建了一些课题组和研究中心,并且开发了多种类型的超声波电机实验样机。金龙、莫岳平等对短柱型电机的特性进行了研究并对设计进行了诸多的优化,单纯从论文的数量来看,中国学者发表的文章数量已经居世界前列,甚至多于日本;但是从产业的现状来看则不容乐观,日本的超声波电机早已形成产业,有的产品应经进入老百姓的日常生活中,生产制造的规模化效应可以大大降低其生产成本,提高技术和生产效率。美国则提出要将超声波电机的产业规模提升至千亿级别。我们的研究成果还只是停留在实验室阶段,要达到世界领先还有很长的路要走。
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