MEMS技术是典型的多学科交叉的前沿性研究领域，几乎涉及了自然及工程科学的所有领域，如电子技术、机械技术、物理学、化学、生物医学、材料科学、能源科学等[3]。MEMS技术便是以传统的半导体工艺和材料为基础，在芯片上制造出微米级的微型机械，并将其与对应的电路集成为一体，既可面向常规的或者特殊的功能需求，又可研究开发出在原理、功能、应用方面具有创新性的系统和元件。在当前的MEMS技术可控制的操作范围内，已经出现宏观的理论难以解释和预测的物理现象，我们称之为尺度效应。因此，对微观下的动力学、流体力学、热力学、摩擦学等学科进行基础性的研究，对MEMS技术的发展有极大的促进。77155

MEMS麦克风是发展中的的技术，其未来发展趋势主要有[4]：

1）数字输出：可以提高对RF噪声的抗干扰性能；

2）高信噪比（SNR）和高可靠性；

3）麦克风阵列：得益于可控、稳定的压电工艺，MEMS麦克风一致性高，组成阵列后能够应用于噪声抑制、回声抵消、语音增强、实现指向性麦克风等。随着网络电话等应用的普及，MEMS麦克风阵列越来越广泛地应用于智能手机、笔记本电脑等产品中。但是大规模MEMS麦克风阵列并未获得推广，论文网主要原因是过多的麦克风难以匹配。为了实现高性能麦克风阵列，各个麦克风必须在灵敏度和相位方面高度匹配。同时，灵敏度和相位也必须是随时间保持稳定的，不受环境条件变化的影响，且抗污染。

4）单芯片集成：MEMS传感器和ASIC（专用集成电路）芯片进一步集成，追求尺寸更小，性能更佳。