3ω法自提出以来，经过多年的发展，已经广泛应用于薄膜、细丝、液体以及块体材料的热物性测量。但3ω法对于不同的样品需要选择不同的测试方法，没有一种普适的方法，且存在误差较大的问题。Putnam等[18]研究表明，3ω法的主要误差来源于薄膜加热器的阻温系数的校正。2003年，Raudzis[19]采用高频3ω法测量得到包括热导率，热扩散率等参数，频率范围为5-200KHz，并分为4个区域，采用纯电阻电路的平衡电桥测量。2012年，AshokT。Ramu等[20]从理论和实验方面阐述了3ω法在基体和薄膜各向异性材料的应用。针对传统3ω法把金属线做为加热器和测温器，AshokT。Ramu把加热和测温的金属线分开，这一方法大大提高3ω法在各向异性材料测试中的灵敏度，减小了界面热阻的影响。尽管近年来3ω法取得了很大的进展，但目前对薄膜加热器的电阻温度关系的相关研究还是很少，这些问题还有待人们去解决。