2。1。  定量瑞奇-康芒法检测原理简述

    瑞奇-康芒法的检测光路如图2。1所示：干涉仪发出一道准直的光束，光束经过干涉仪的标准镜头，以发散光的形式出射，其镜头焦点刚好与标准球面镜经过待测平面反射后的曲率中心的像相重合。干涉仪发出的光束经过其标准镜头的折射，通过其标准镜头的焦点，并入射到待测平面，然后通过待测平面反射到标准球面镜上,再经过标准球面镜的反射，第二次经过待测平面,最后光束回到干涉仪焦点处,并与干涉仪发出的参考光发生干涉。来;自]优Y尔E论L文W网www.youerw.com +QQ752018766-

图2。1  瑞奇-康芒法检测原理图

一开始，瑞奇-康芒法只被用来定性地分析平面镜面形。近年来,随着制造加工的精细化需求，一些学者开始对瑞奇-康芒法的检测结果试着进行定量分析。首先，他们提出一个假设：平面镜不存在像散,只有局部面型偏差和带状面形偏差。最后他们发现：待测平面若有微小矢高，将会导致干涉图中出现像散。经过充分计算，他们给出了平面矢高与其所致像散的大小、方向间的联系。

在实际的检测过程中,通过常用的刀口阴影法，我们可以得出平面镜的两个焦点位置（弧矢焦点、子午焦点）,然后用这两个焦点的位置，再结合瑞奇-康芒法中待测平面镜的入射角，也叫瑞奇角，计算出待测平面的矢高。