本论文选题的目的是研究通过电弧离子镀方法制备TiCN薄膜以及渗氮TiCN薄膜,通过对两种膜层的力学、摩擦磨损及耐腐蚀性能的研究,对用电弧离子镀制备TiCN薄膜的性能有系统的了解,同时对于渗氮对于TiCN涂层的影响进行分析,从而为电弧离子镀沉积TiCN薄膜的科学研究和工业应用提供参考和依据。
1。5。2研究内容
本研究实验是利用多弧离子镀设备,在已设定沉积参数的情况下,于未渗氮和渗氮的W6Mo5Cr4V2Co5高速钢基体上分别沉积TiCN薄膜。并通过各种检测手段,如扫描电镜,球磨仪、洛氏硬度计,纳米压痕仪等对所制备的薄膜进行检测以及对其力学性能进行研究,用摩擦磨损试验机检验薄膜摩擦磨损性能,用电化学工作站测试薄膜耐腐蚀性能。