The resulting data in tabular or in the form of curves presented herein specific location。 I have been verified through analysis of factors affect the film formation rate, Cr-Ti-N film and the Cr-V-N film by friction and wear after macro picture, and reasonable analysis of its causes, and its hardness Both films rational analysis, micro-structure morphology of the organization Both films。

Keywords:  Cr-Ti-N composite membrane;  Cr-Ti-V-N composite membrane;  micro structure; mechanical properties; friction properties

目录

摘要 Ⅰ

Abstract Ⅲ 

第一章 绪  论 1

1。1 引言 1

1。2 纳米复合膜 1

    1。2。1 制备方法 1

    1。2。2 分类 1

    1。2。3 致硬机理 2

1。3 纳米多层膜 2

    1。3。1 制备方法 3

    1。3。2 分类 3

    1。3。3 纳米多层膜的致硬机理 3

1。4 摩擦性能 3

    1。4。1 摩擦 3

    1。4。2 磨损 4

1。5 选题的意义 6

1。6 研究内容 6

第二章 薄膜的制备与表征 7

2。1 引言 7

2。2 制备薄膜的实验设备和制备原理    7

    2。2。1 实验设备7

    2。2。2 制备原理 7

2。3 薄膜的检测设备和检测的方法 9

    2。3。1 扫描电子显微镜 9

    2。3。2 X射线衍射仪 10

    2。3。3显微硬度测试仪 11

    2。3。4 能谱仪 11

    2。3。5 摩擦磨损测试仪 12

    2。3。6 薄膜厚度的测量 12

第三章Cr-Ti-N、Cr-V-N复合膜的显微结构与各项性能研究  13 

3。1 引言   13

3。2 Cr-Ti-N复合膜的显微组织结构和各项力学性能研究    13

    3。2。1 实验过程     13

    3。2。2实验结果与讨论     15

3。2。2。1 Cr-N复合膜中的微结构 15

3。2。2。2 Cr-Ti-N复合膜中的Ti含量 16

3。2。2。3Ti含量对Cr-Ti-N复合膜微结构的影响 17

3。2。2。4 Ti含量对Cr-Ti-N复合膜力学性能的影响 18

3。2。2。5 Ti含量对Cr-Ti-N复合膜摩擦性能的影响 19

3。2。2。6  Cr-Ti-N复合膜截面形貌 20

3。3 Cr-V-N复合薄膜的微结构与力学性能研究 20

    3。3。1实验过程