1。4 选题意义与研究内容

1。4。1 选题意义

   在科技飞速发展的今天，材料的加工难度越来越大，这促进了金属切削工业的进步，近年来出现的高速切削、干切削和微润滑切削等工艺，说明金属切削刀具的要求在不断地提高。所以通过在金属切削刀具表面镀上超硬薄膜材料正符合了现代制造业的对技术的需求，薄膜的高硬度，强韧性，耐磨，自润滑等特性与高强度的金属切削刀具相结合在现代切削刀具发展历史上具有里程碑式的意义。它让金属切削刀具的耐用度和适用性得到了质的飞越。此外，硬质薄膜材料在其他领域也有许多应用，比如内燃机中的活塞环，纺织机上的钢领圈，各式各样的磨具。综上所述，硬质薄膜的出现为人类的科技发展做出了巨大的贡献

  近年来，中国的学者主要研究了二元多层薄膜结构体系以及在常温状态下的摩擦磨损性能，将单层膜和多层膜的摩擦磨损性能进行比较来研究机调制周期对其的影响。国外学者主要在研究纳米多层薄膜体系和摩擦磨损性能，这些体系将二元和多元纳米薄膜的优势结合到一起，将单层和二元多层薄膜的的劣势消除，提高了涂层的综合性能。通过对各元素与氧原子产生的各种和反应物摩擦磨损性能的研究，提出了马格内利相的作用与自适应机制。

  虽然多层薄膜体系以及受到人们越来越大的重视和越来越深的研究，但对极苛刻服役条件下的的薄膜设计和摩擦磨损性能的研究才刚刚开始，还有很长的路要走。一是关于多元纳米复合涂层材料体系的设计。二是对于多层膜生长过程、界面组成、多层膜的构成与结构对硬度、在高温下的抗氧化性能及高温下的摩擦磨损综合性能的影响。三是怎样通过晶体化学选择合适的氧化物类型来保证高温来.自^优+尔-论,文:网www.youerw.com +QQ752018766-

状态下多层膜依然可以拥有较低的摩擦系数。

1。4。2 研究内容

      （1）采用磁控溅射法制备出不同Mo含量的TiMoN纳米复合膜。

      （2）采用纳米力学综合测试系统对薄膜的硬度进行测试，利用扫描电子显微镜及其附带的能谱仪对薄膜的表面生长形貌及组分进行分析。

      （3）采用高温摩擦磨损仪对薄膜进行室温及高温摩擦磨损测试，并对薄膜摩擦磨损性能进行分析。   

       在 1、2、3的基础上讨论TiMoN复合膜的微结构，力学性能和摩擦磨损性能。