表3.1的数据说明Cu-Ni-Al2O3复合膜中主要含有Cu和Ni两种元素,Cu-Ni-Er-Al2O3复合膜除含有Cu和Ni两种元素之外,还含有少量Er。Cu-Ni-Nd-Al2O3复合膜除含有Cu和Ni两种元素之外,还含有少量Nd。Cu-Ni-La-Al2O3复合膜除含有Cu和Ni两种元素之外,还含有少量La。
表3.1的数据还说明,Er、Nd、La的加入,使复合膜中镍含量增加。其中,La使复合膜中镍含量增加的作用最明显,增加了16.28%的镍含量。Er增加复合膜中镍含量的效果次之,增加了11.8%的镍含量。Nd增加复合膜中镍含量的效果最差,增加了1.45%的镍含量。
表3.1 Cu-Ni-(RE)-Al2O3复合膜元素成分表
Cu含量/% Ni含量/% 稀土元素含量/%
Cu-Ni-Al2O3 96.03 3.97 0
Cu-Ni-Er-Al2O3 74.70 15.77 9.53
Cu-Ni-Nd-Al2O3 91.43 5.42 3.16
Cu-Ni-La-Al2O3 76.93 20.25 1.29
3.2 X射线衍射仪复合膜晶态结构分析
图3.2 Cu-Ni-(RE)-Al2O3复合膜XRD分析图
a:Cu-Ni-Al2O3复合膜;b:Cu-Ni-La-Al2O3复合膜;
c:Cu-Ni-Nd-Al2O3复合膜;d:Cu-Ni-Er-Al2O3复合膜
图3.2为Cu-Ni-Al2O3、Cu-Ni-La-Al2O3、Cu-Ni-Nd-Al2O3和Cu-Ni-Er-Al2O3复合膜的XRD图。
表3.2 不同镀层中晶态Cu0.81Ni0.19的X光衍射峰所对应的2θ表
(hkl) Cu0.81Ni0.19 (111) Cu0.81Ni0.19 (200) Cu0.81Ni0.19 (220)
Cu-Ni 43.519° 50.738° 74.366°
Cu-Ni -La 43.592° 50.731° 74.352°
Cu-Ni -Nd 43.776° 50.828° 74.686°
Cu-Ni -Er 43.899° 50.001° 74.765°
表3.2为不同镀层的X光衍射峰晶态所对应的衍射角。
从表3.2中可以得到,镀液中添加稀土离子La3+,Nd3+,Er3+,对获得的Cu-Ni-La、Cu-Ni-Nd、Cu-Ni-Er复合膜中立方结构Cu0.81Ni0.19 (111)、Cu0.81Ni0.19 (200)、Cu0.81Ni0.19 (220)的所对应的衍射峰2θ有影响。其原因可能是复合膜中La、Nd和Er的掺入导致晶格畸变。
图3.2(a)为不含任何稀土元素的复合膜的XRD图谱。从图3.2(a)中可以看出,2θ主要在43.519°、50.738°、74.366°处出现较为明显的衍射峰,PDF-#47-1406中可以查到立方结构Cu0.81Ni0.19(111),Cu0.81Ni0.19 (200),Cu0.81Ni0.19 (220)所对应的衍射峰位置是2θ分别为43.604°,50.794°,74.677°。
图3.2(b)为含稀土元素La的复合膜的XRD图谱。从图3.2(b)中可以看出,2θ主要在43.592°、50.731°、74.352°处出现较为明显的衍射峰,PDF-#47-1406中可以查到立方结构Cu0.81Ni0.19(111),Cu0.81Ni0.19 (200),Cu0.81Ni0.19 (220)所对应的衍射峰位置是2θ分别为43.604°,50.794°,74.677°。结合表3.2的数据,添加La3+,对获得的复合膜中立方结构Cu0.81Ni0.19 (200)、Cu0.81Ni0.19 (220)的所对应的衍射峰2θ向左偏移;Cu0.81Ni0.19 (111)则向右偏移。其原因可能是复合膜中La的掺入导致了晶格畸变。
图3.2(c)为含稀土元素Nd的复合膜的XRD图谱。从图3.2(c)中可以看出,2θ主要在43.776°、50.828°、74.686°处出现较为明显的衍射峰,PDF-#47-1406中可以查到立方结构Cu0.81Ni0.19(111),Cu0.81Ni0.19 (200),Cu0.81Ni0.19 (220)所对应的衍射峰位置是2θ分别为43.604°,50.794°,74.677°。结合表3.2的数据,添加Nd3+,对获得的复合膜中立方结构Cu0.81Ni0.19 (111)、Cu0.81Ni0.19 (200)、Cu0.81Ni0.19 (220)的所对应的衍射峰2θ向右偏移。其原因可能是复合膜中Nd的掺入导致了晶格畸变。
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