2.4 本章小结 14

3 三维有序大孔Fe2O3骨架的制备及表征 14

3.1 三维有序大孔（3DOM）金属氧化物制备原理 14

3.2 三维有序大孔（3DOM）Fe2O3骨架制备实验 14

3.2.1 实验材料及测试仪器 14

3.2.2 实验过程 15

3.3 三维有序大孔（3DOM）Fe2O3骨架SEM、XRD表征 15

3.4 本章小结 16

4 Al/ Fe2O3纳米铝热复合薄膜的制备及表征 17

4.1 磁控溅射镀膜及实验装置 17

4.2 磁控溅射镀膜实验过程 18

4.3 Al/Fe2O3纳米铝热复合薄膜的表征 18

4.3.1 SEM表征 18

4.3.2 XRD物相分析 19

4.3.3 DSC热分析 20

4.4 本章小结 21

结  论 22

致  谢 24

参考文献 25

1  绪论

1．1 MEMS 火工品

近年来，MEMS火工品成为火工技术研究的前沿，其优点有：

1）微型化：力求做到体积小、重量轻、耗能低、惯性小、谐振频率高、响应时间短等，以提高器件的隐蔽性、快速作用能力；

2）集成化：可以将不同功能的器件集成于一体，形成微执行器阵列，作为一个复杂的微系统，便于多功能联动执行。同时减少不必要的空间占用和不同过程、不同功能间信号传导间隔；

3）易批量生产：在制作上可以批量生产，生产时间和生产成本可以大大减少；

4）高可靠性：能够在现代战争中高电磁辐射、高加速度、高温、高寒等恶劣环境下正常发挥效用。

由于MEMS火工品体积很小，很难保证较高的点火输出能力。众多学者考虑提高MEMS火工品内含能材料的单位质量点火输出能力，传统的有机含能材料分解温度低，不易引入MEMS体系，这时复合含能材料成为一种新的构想。复合含能材料具有较高的能量密度，反应温度高，适于MEMS工艺，但其反应速率较慢，纳米尺度的材料由于表面效应的作用，具有极高的表面能，可以与周围其他材质快速反应，采用纳米尺径材料制成的含能复合材料具有适宜MEMS体系的较高能量密度。

1．2 MEMS火工品用含能薄膜研究现状

1.2.1  金属/金属纳米复合含能薄膜

1.2.2  Al/金属氧化物纳米复合含能薄膜

1.2.3  含能半导体桥

1.2.4 纳米多孔硅/氧化剂复合含能薄膜

1．3 本论文研究内容