3.4.1 设计计算步骤 13

  3.4.2 带传动的计算结果 15

  3.4.3 带轮的结构设计 16

 3.5 减速器的设计 18

  3.5.1减速器的介绍 18

  3.5.2 减速器的基本结构 18

  3.5.3 减速器传动比分配 18

  3.5.4 计算运动参数和动力参数 19

  3.5.5 齿轮传动计算 21

 3.6轴的结构设计及校核 31

 3.7轴承的选择及校核 39

  3.7.1轴承的选择 39

  3.7.2轴承的校核 39

 3.8箱体的结构设计以及润滑密封 40

 3.9 锥齿轮传动设计计算 43

  3.9.1锥齿轮传动的基本类型和功用 43

  3.9.2 锥齿轮的设计与计算 43

  3.9.3锥齿轮的参数表格 45

 3.10 PVD涂层装备夹具结构设计 46

  3.10.1 整体外形设计 46

   3.10.1.1 夹具装夹台外形设计 46

   3.10.1.2 小车外形设计 47

   3.10.1.3 夹具及拨叉设计 47

  3.10.2 夹具装夹台内部设计 48

   3.10.2.1行星齿轮设计、计算及润滑选择 48

   3.10.2.2滑动轴承的选择及计算 53

4 PVD涂层装备的真空获得系统结构设计 56

 4.1真空系统的分类 56

  4.1.1普通镀膜设备的典型高真空系统 56

  4.1.2超高真空系统 56

 4.2 PVD镀膜设备抽气系统的设计 56

  4.2.1PVD镀膜设备对抽气系统的要求 56

  4.2.2真空泵的选择 57

5 PVD涂层装备真空室的结构设计 59

 5.1基本设计原则 59

 5.2真空室材料的选择和焊接要求 59

  5.2.1材料的选择 59

  5.2.2焊接要求 59

 5.3真空室壁厚的设计 60

  5.3.1真空室的计算壁厚 60

设计小结 62

致谢 64

参考文献 65

引言

本文是基于现有的PVD设备而对涂层装备整体结构设计，包括电机选型，减速器的设计及传动路线的基本设计，真空获得系统的机械泵及电机的选择。随着现代工业技术的迅速发展与环境保护意识之间的矛盾日趋尖锐，人们对产品的质量和使用寿命提出了更为苛刻的要求，PVD表面工程技术在这种大前提和大环境下，应运而生。它包含了传统的表面处理无可比拟的优点——超薄，超硬，自润滑,无污染等，这些优点奠定了PVD技术在现代和未来所占领的举足轻重的地位。正是在PVD技术重要性影响下，作为涂层技术工作关键所在，PVD设备的设计成了首要任务。因为PVD技术在怎么发展都离不开PVD设备的制造，因此PVD装备整体结构的设计就显得举足轻重。它能直接影响到加工的质量, 加工生产的效率和额外的制造成本。对于PVD设备而言，最主要关键部位在于真空室的设计及真空系统的获得，当然数控部分也是必不可少的关键部位。对于夹具设计制造需要满足使用要求并能够充分利用炉腔空间并能够使工件旋转在涂层过程中无死角。随着科学技术的进步和社会的迅速发展，如何高效的利用资源和发明革新新式的装置及提高人们对产品的要求成了人类社会面对的一大难题。所以研究其PVD装置的意义和重要性便不言而喻。