1.2  平面度检测现状  

1.3  本文研究的内容

   本论文是基于“平面干涉仪条纹自动分析系统”这一项目完成的，改造了一台中科院上海光机所的型激光平面干涉仪，加装CCD，采集干涉图像，后期主要讨论了对干涉条纹图样进行空域处理，采取条纹中心法对得到干涉图样的中心线并提取有效的信息特征点，与传统条纹法不同的是，本文按照国家标准(GB2831-81和JJG28-2000)对干涉图样进行判读，得到平面度指标，在很大程度上克服了传统目视判读所带来的人为误差影响。本文的主要工作如下：

   1 对干涉仪的工作原理有一定理解，即掌握PG15-J4型平面等厚干涉仪的工作原理，了解其光路结构；

   2 对干涉条纹图像预处理算法进行研究，包括对图像进行灰度修正、噪声平滑及二值化、细化提取条纹中心线、对图像进行拟合；

   3 用MATLAB编写仿真软件，并采用实测干涉条纹图像进行实测。

2. 平面度测试系统

2.1  干涉原理

干涉测量是一种基于光波叠加原理，分析处理干涉场中亮暗变化、条纹形状变化或其他条纹数的变化，从中获取被测量的有关信息。

满足频率相同、振动方向以及初相位差恒定三个条件的两支光路会发生稳定的干涉现象。干涉场中任一点的合成光强为：