MEMS加速度计有很多种类，本文仅介绍一种电容式加速度传感器，其结构如图2。5所示。这种传感器对于各方位加速度造成的误差有很强的修正能力，除此之外其线性、温度性质等都有很大优势。

该加速度计有四层结构，在顶部玻璃层的底部形成五个固定电极，分别用来引出电容传感器信号及屏蔽接地。第二层是硅材料，其中微加工形成的由四个悬臂梁组成的公共电极可以在3个轴向（X、Y、Z）上自由运动，固定电极与硅基底的铝焊盘孔通过触点想连接。第三层材料也是玻璃，其构成振动质量块和基架。底部的第四层硅结构起限位作用，避免加速度值过量程时损坏传感器。