涂层厚度检测方法及标准化+文献综述
关键词：薄膜类型；厚度；测定方法；标准化
Coating Thickness Detection Method and Standardize Abstract
This paper studies the direction of coating thickness testing methods and standardization.By using homemade mill galvanized tin film, tin nickel film, stainless steel galvanized thin, stainless steel nickel-plated film, ceramic film standard sample and pit copper-nickel film by ball milling experiment respectively, Re-use X-ray method and the corresponding section wears experiment, the experimental results obtained with the experimental results pits compared milling.Further concluded that: dimples milling method can accurately measure the thickness of the coating, and the operation is simple, low cost, the metal film, a ceramic film, and a multilayer film are applicable.
Keywords: film types; the thickness; testing method;standard transformation
目 录
1.绪论 1
1.1 引言 1
1.2 薄膜厚度的测量 1
1.2.1 非在线测试 1
1.2.2在线测试 2
1.2.3测试方法分类 3
1.2.4常用测量方法研究发展 3
1.3涂层薄膜的制备 6
1.4国际标准ISO 7
2.实验部分 7
2.1 实验材料及实验器材 8
2.1 .1偏光显微镜 8
2.1.2金相显微镜 9
2.1.3凹坑球磨机试验仪器 9
2.1.4 镶嵌机 10
2.1.5 x射线镀层测厚仪 10
2.2实验材料 11
2.3 实验内容 11
2.3.1 镀膜 11
2.3.2 凹坑球磨法测量涂层厚度 11
2.3.3 断面法测量涂层厚度 12
2.3.4 x射线镀层测厚仪测量涂层厚度 13
2.3.5 实验结果对比 13
3. 结果与讨论 14
3.1凹坑球磨法测量涂层厚度结果 14
3.1.1镀锌薄膜 14
3.1.2镀镍薄膜 16
3.1.3陶瓷薄膜 19
3.1.4镀铜镍多层薄膜 19
3.2断面法测量涂层厚度结果 20
3.2.1镀锌薄膜 20
3.2.2镀镍薄膜 23
3.2.3镀铜镍多层薄膜 25
3.3射线法测量涂层厚度结果 26
3.3.1镀锌薄膜 26
3.3.2镀镍薄膜 27
3.4实验结果的分析及比较 27
3.4.1镀锌薄膜的实验结果分析 27
3.4.2 镀镍薄膜的实验结果分析 28
3.4.3 镀铜镍多层薄膜的实验结果分析 30
3.5 影响因素 30
4. 结论 32
致 谢 34
参考文献 35
1.绪论
1.1 引言
薄膜厚度是薄膜制造业的基础检测项目之一。薄膜其他一些性能指标都和厚度有关。很显然，倘若一批单层薄膜厚度不均匀，不但会影响到薄膜各处的拉伸强度、阻隔性等，更会影响薄膜的后续加工。对于复合薄膜，厚度的均匀性更加重要，只有整体厚度均匀，每一层树脂的厚度才可能均匀。因此，是否均匀，是否与预设值一致，厚度偏差是否在指定的范围内，这些都成为薄膜是否能够具有某些特性指标的前提。薄膜厚度测量分为在线测试与非在线测试两种，最早用于薄膜厚度测量的是非在线测厚技术。之后，随着射线技术的不断发展逐渐研制出与薄膜生产线安装在一起的在线测厚设备[5]。上个世纪 60年代在线测厚技术就已经有了广泛的应用，现在更能够检测薄膜某一涂层的厚度。在线测厚技术与非在线测厚技术在测试原理上完全不同，在线测厚技术一般采用射线技术等非接触式测量法，非在线测厚技术一般采用机械测量法或者基于电涡流技术或电磁感应原理的测量法，也有采用光学测厚技术、超声波测厚技术的。