毕业论文
计算机论文
经济论文
生物论文
数学论文
物理论文
机械论文
新闻传播论文
音乐舞蹈论文
法学论文
文学论文
材料科学
英语论文
日语论文
化学论文
自动化
管理论文
艺术论文
会计论文
土木工程
电子通信
食品科学
教学论文
医学论文
体育论文
论文下载
研究现状
任务书
开题报告
外文文献翻译
文献综述
范文
电荷耦合器件成像性能测试与分析(2)
4.7.1 Dynamic Range 的定义 . 26
4.7.2 Dynamic Range 的影响因素 . 26
4.8 Uniformity 的定义及影响因素 . 27
4.8.1 Uniformity 的定义 27
4.8.2 Uniformity 的影响因素 28
4.9 Distortion 的定义及影响因素 . 29
4.9.1 Distortion 的定义 29
4.9.2 Distortion 的影响因素 29
5 CCD 成像各性能参数的测试结果及分析 31
5.1 MTF 的测试结果及分析 31
5.2 SNR 的测试结果及分析 32
5.3 Blooming 的测试结果及分析 . 33
5.4 CTF 的测试结果及分析 35
5.5 Dynamic Range 的测试结果及分析 37
5.6 Uniformity 的测试结果及分析 . 37
5.7 Distortion 的测试结果及分析 . 38
结 论 40
致 谢 41
参 考 文 献 . 42
1 绪论
1.1 本课题研究背景和意义
60 年代末期,半导体技术已在几个方面取得了突破性进展。首先是关于 Si-SiO2
界面态研究的进展,用 SiO2结合较少的渗透
材料
做出了低表面密度的双层介质材料,
使器件的稳定性得到了保证,其次是利用离子注入法生成了厚度约1μm的掺杂分布,
使创造高质量的绝缘膜成为可能;第三是制成了
电子
束曝光的专用光致抗蚀胶,使图
版的尺寸向微细方向又跨越了一大步;第四是解决了半导体材料的均匀性受器件制造
工序特别是高温工序的影响问题。其它还有器件方面的成就,如表面电荷晶体管已制
成;半导体动态存贮单元的实用化等等,所有这些成就都是CCD 诞生的基础,并为后
来的发展提供了必要的前提条件。
CCD 的概念提出后,第一个 8位 CCD 很快就制成了。由于它的潜力被许多科技工
作者所认识,所以在很短的时间内几乎所有的电子学领域都提出了应用的设想。如根
据 CCD 存贮电荷的能力直接提出了CCD 记忆电路和逻辑电路的方案;电荷作信息载体
的优越性导致了它用作信号处理的许多建议;硅对探测可见光辐射的能力,使人们很
快形成了CCD 图像传感器的概念,等等。
20 多年来,CCD 得到了很大的发展,特别是在固体成像和信号处理等技术领域,
已独树一帜,影响极大。但它仍处在发展阶段,最近的研究表明,它的潜力远远超过
了现有器件的能力,在光谱响应、电荷搜集、电荷转移效率、读出噪声等方面有可能
得到较大的改进。
在扩展 CCD 的工作频限方面,德克萨斯仪器公司(TI)已做出了波长响应范围为10-4
~1μm 的器件(TI 3P CCD),他们的这个成就是在解决了薄氧化层的生长工艺和表
面抗反射涂层的技术之后取得的,从而将CCD的工作范围扩展到了x射线和紫外波段。
在提高电荷搜集效率方面,T1 3P CCD也达到了较高水平。它的光敏面较大(>30
μm),厚度与耗尽层的深度接近,这可使光子的“目标”更大,同时也为进入到半导
体内部的光子提供了理想条件,避免了光生电荷向非转移方向扩散,从而提高了电荷
搜集效率。
T1 3P CCD 的电荷转移效率为0.99995,在串联移位寄存器中,能够转移信号 2500
次。限制转移效率进一步提高的主要原因是寄生电荷包。目前已采取了一些有效的方
法,包括结构、工艺、使用条件等的改进,基本可消除寄生电荷包,从而使 CCD 向更
共3页:
上一页
1
2
3
下一页
上一篇:
电光调制实验系统的数字化研究
下一篇:
典型生物质燃烧特性研究+文献综述
QFN超薄芯片叠层封装器件的热应力与热疲劳
WPT/WRC磁耦合谐振式无线能量传输研究
电感耦合等离子体质谱法...
基于输运床鼓泡床耦合的...
纳米半导体器件的多物理特性分析电特性曲线
刚柔机电耦合的柔性机械臂动力学与控制研究
二次耦合型腔光机械系统中慢光效应研究
志愿者活动的调查问卷表
公寓空调设计任务书
C#学校科研管理系统的设计
AT89C52单片机的超声波测距...
10万元能开儿童乐园吗,我...
医院财务风险因素分析及管理措施【2367字】
神经外科重症监护病房患...
国内外图像分割技术研究现状
承德市事业单位档案管理...
中国学术生态细节考察《...