摘要随着超精细检测技术得到世界各国的普遍重视与广泛应用，白光干涉显微技术成为超精细检测技术中的重要手段。本文的研究对象为白光干涉显微镜中的核心部分——干涉显微物镜。本论文首先介绍了当前应用最多的三种类型的干涉显微物镜：Michelson型、Mirau型和Linnik型，之后提出了将普通显微物镜改造成干涉显微物镜的方案以及具体结构设计，最后对改造后的Mirau型干涉显微物镜进行装调与测试，主要通过ZYGO干涉仪和VEECO轮廓仪测试了分光平板与参考平板的面型、粗糙度、平行程度等，通过实验验证改造后的显微物镜套筒是否满足白光干涉显微仪的要求。63714

毕业论文关键词：显微干涉测量  Mirau  表面形貌测量 结构改造

毕业设计说明书（论文）外文摘要

Title       Interference microscope objective      alignment technology research         

Abstract With ultra-fine detection technology has been widespread attention around the world and widely used, white light interference microscopy techniques to become super-fine detection technology is an important tool. The research subjects were white light interference microscopy in the core of the interference microscope objective. This paper introduces three types of interference microscope objective which are the most widely used in the world: Michelson type, Mirau type and Linnik type. And we proposed the specific design to transformed the ordinary microscope objective into interference microscope objective. At last, we test the improved Mirau interferometer microscope objective through the VEECO interferometer and ZYGO profilometer to test the roughness, parallel degree of the surface plate and the reference plate. We want to proof if the new Mirau interferometer microscope objective can meet the requirements of white light interference.

Kayword :  Microinterferometer  Mirau  Surface topography measurement Structural transformation

目 录

1绪论 2

1.1本文的研究背景和意义 2

1.2干涉显微镜的发展现状 2

1.3本文的主要内容 3

2干涉显微原理 4

2.1白光干涉显微原理 4

2.2 Michelson干涉显微镜 5

2.3 Mirau干涉显微镜 6

2.4 Linnik干涉显微镜 6

3 干涉显微物镜的改造 7

3.1 Mirchelson型干涉显微物镜的改造 7

3.1.1套筒结构 8

3.1.2连接件 10

3.1.3压圈及光学元件 11

3.1.4装配及调整 12

3 .2Mirau型干涉显微物镜的改造 13

3.2.1第一套筒结构 13

3.2.2 第二套同结构 15

3.2.3 压圈及光学元件 16

3.3 装配加工 17

4 Mirau型干涉显微物镜装调与测试 17

4.1 分光平板与参考平板面型测量 18

4.2 分光平板与参考平板表面粗糙度测量 19

4.3 两平板平行程度与参考光路聚焦调节