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许多材料的室温蠕变能力很低，传统的拉伸方法很难准确的测定室温蠕变速率的敏感指数m，而纳米压痕仪通过计算机控制与敏感度极高的传感仪，极大提高了载荷和位移分辨率，并能够连续记录一系列对应的数值。与传统测定室温蠕变方法相比，纳米压痕法可以极大提高薄膜室温蠕变速率的敏感指数m的精确度。现今主要采用的测定室温蠕变方法有恒载荷、恒加载速率法以及恒加载速率/载荷法。86877
恒载荷法：利用砝码、力矩、弹簧等给试样加上一定的载荷而达到加载的目的,这种加载方法称为恒载荷法[11-13]。
恒加载速率法：指通过恒定的加载速率，给式样加上持续均匀变化的载荷，从而达到加载的目的，这种加载方法称为恒加载速率法[14]。
恒加载速率/载荷法：指通过控制加载速率的变化，使得加载速率与瞬时载荷保持恒定数值，在这种条件下达到加载目的的方法称为恒加载速率/载荷法[15]。论文网
李芹对于LD铝合金的研究中[7]。发现室温蠕变速率不存在加速阶段，室温蠕变随时间急剧降低，蠕变主要集中在初始阶段。并且LD10合金在低应力是存在饱和现象，当应力高于蠕变强度一半时，存在明显的室温蠕变现象。加载应力一定时，室温蠕变量随加载速率的变化一般存在一个峰值。加载历史对随后的室温蠕变存在显著地影响。张建民通过恒加载速率/载荷法对于Cu的室温蠕变敏感指数研究会中[16]。发现延长实验饱载时间，可以得到更低的压入应变速率，加宽应变速率的变化范围，进而提高蠕变速率敏感指数m的准确性。最终测出Cu的室温蠕变速率敏感指数为0。01，与恒加载速率/载荷段所用的恒加载速率/载荷值无关，和最大压入深度hmax无关。