目前，移动目标轨迹测量主要分两大类，一类是传统的接触式测量，另一种是非接触式测量。接触式测量比较典型的是机械法还有电学法中的电阻法，机械式测量虽然精度较高，但是测量范围非常局限，在实际生产和实验中，通常采用的都是非接触式测量。非接触式测量有一种是电容法，但是电容法精度较差，量程也小，且对被测量工件材料有要求，所以测量效果较差。光电式测量现在已经是一种较为成熟的测量方法，位置分辨率也较高，但是对测量环境要求较高，无法满足室外测量环境，不适合在线生产现场的测量要求。随着高性能光电器件的不断迅速发展，也促进了非接触测量的不断向前发展，其中应用比较广泛的就是光电位移传感器。PSD就是其中表现较好的一种光电位置敏感探测器，且由于国内外几十年的研究，无论是对其抗干扰主要方式的研究还是后期信号处理电路的设计都有长足发展。而且随着PSD的研究发展，其器件性能逐渐提高，其制作工艺制作材料的不断研究进步，PSD 的位置分辨率，非线性度，暗电流等参数也被大大改善，而且PSD避免了阵列型器件如象限探测器等传统光电器件的分辨率受像元尺寸限制的短板之处。42912

国内外对于PSD的研究有很多方向，从PSD的材料到其结构都有涉及。19世纪60年代，Lucovsky推导提出的描述PSD工作原理--横向光电效应的Lucovsky方程，开启了PSD的理论研究的大门。70年代后，接连陆续出现了几种优化的PSD结构，改善提高了PSD的线性度，如四边形结构、双面形结构以及枕形结构等，使得PSD性能指标得以不断优化，从而为其打开了应用的大门[5]。我国对PSD研究起步较晚，所以基于PSD的移动目标轨迹测量系统还有很大的发展空间，产品少，对PSD论文网的认识和研究不足，器件性能不高，配套信号处理电路缺乏，使得我国移动轨迹目标定位系统无法形成竞争力，还需要人们去深入研究，以期达到甚至超过国外。

参考文献

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