1，国外研究现状超声波电机的起源来自前苏联，1964年，V。Vlavrinenko在基辅理工学院发明了世界上第一台压电回旋电机。之后超声波电机在苏联得到了发展，相继发明出了二、三自由度超声波电机，应用在微型机器人的相关领域。82685

    超声波电机的工业化则是在日本，并在国名经济中有占有着重要地位。日本将超色波电机应用在生活的方方面面，并取得了极大的成功，例如将球面超声波电机应用在机器人关节;将摇头型棒状压电超声波电机应用于照相机镜头的聚焦结构;将线性超声波电机应用于电子影像设备；将环形超声波电机安装到窗帘的自动开闭装置上;将板状超声波电机应用于摄像机镜头架对圆周范围进行扫描的装置上。日本拥有与超声波电机相关的大量专利，在超声波电机领域的研究位于世界前列。对于电机新型原理的研发改良方面也颇有成效，在预压力对定子表面质点位移变化的影响、改善驱动结构、降低摩擦损耗等精尖科研问题的研究上取得了不小的成功[18]。

    美国在超声波电机的研发方面也颇有成绩。行波型超声波电机在航天和军事领域得到了大力发展。麻省理工大学开发出具有双面齿的行波型超声波电机，并与喷气推进器实验室共同研究了超声波电机在真空环境的应用。密苏里大学用有限元分析对超声波电机进行了应力和变力分析，在理论研究方面有不俗的成绩，建立了行波电机的各种模型。加州伯克利分校研制出了压电微电机，并被美国学者发现了其巨大潜力和价值，之后政府斥巨资推动压电微电机在航空航天以及计算机磁盘驱动等方面的研究。

2  国内研究现状

    我国对超声波电机的研究也取得了一定的进展，研发主要聚集在一些高等院校，譬如清华大学、东南大学、南京航空航天大学等，研制出了一些新型样机。清华大学在国内率先取得了国家自然科学基金，研发出了直线压电电机、电流变箝位和直线箝位微动压电电机等新型电机。在环状行波电机领域内，南京航空航天大学对超声波电机的一些特性做了研究，比如运动平稳性、动力传递的原理、输出特性以及调速原理等。哈尔滨工业大学研制了无轴承型超声波电机、三维接触驱动型超声波电机、双定子单转子型超声波电机、板状双向驻波型超声波电机、直线双向驻波型超声波电机以及双面齿驱动行波型超声波电机等超声波电机结构，对于超声波电机的创新研究做出了巨大贡献。东南大学研发出了系列行波型、步进型及柱状夹心式超声波电机样机，其中均压行波超声波电机和多功能驱动控制装置取得了国家专利。华中科技大学研究了输出功率、输出转矩与转子尺寸、形状之间的关系，并研发了大扭矩行波型超声波电机。浙江大学研制了高重复定位精度和大力矩的纵扭复合式超声波电机