新型平板显示（FPD）行业被誉为电子信息行业的“核心支柱”，是电子产品平板化的必 然趋势，其发展程度某种意义上能够映射出一个国家的科研水平。截至 2013 年，新型平板显 示行业年产值已超过千亿美元，在电子信息行业只有半导体行业能与之媲美。其中 TFT-LCD 是发展较为成熟的显示技术，日本于 1992 年进军 TFT-LCD 市场，是全世界最早涉足该领域 的国家，研发基础雄厚，但后来疏于投资，产能有所下滑。韩国后来居上，三星和 LG 这两 家液晶平板制造厂商是目前全球最优影响力的品牌，我国台湾地区接受日本的技术输出，也 涌现出奇美、友达等不错的面板厂商，目前产能仅次于韩国。我国大陆地区自从 2002 年进入 TFT-LCD 市场，发展已逾十余年，产能初具规模但仍与韩国、我国台湾地区、日本存在一定 差距[1]。

基板玻璃是 FPD 行业的基础原料，其在 FPD 行业的地位丝毫不逊色于晶圆片之于 IC 行 业。现今，基板玻璃的发展越来越倾向于大尺寸[2]，其转运效率也不断提升[3]。表 1。1 显示了 基板玻璃尺寸的发展历程。

表 1。1 玻璃基板尺寸发展历程[4]

世代 首线投产年份 尺寸（cm） 面板经济切割

G1 1990 30×40 151

G3。5 1996 60×72 154

G4 2000 68×88 156

G5 2000 110×130 1515

G6 2003 150×185 376

G7。5 2006 195×225 476

G8 2006 216×248 526

G10 2010 288×308 656

由于在显示屏的制程中，基板玻璃先后要经过洗净、镀膜、曝光、蚀刻、去光阻胶、再 洗净等工艺流程，基板玻璃在各制程之间转运效率的不断提升就给基板玻璃转运机械手转运 时在连续、平稳、精确、安全和快速性上带来新的挑战。为了降低基板废品率和提高平板生 产效率，玻璃基板转运机械手的轨迹规划问题受到了广泛的关注。

我国 FPD 产业起步较晚，同时受国外技术输出的制约，且市场份额最大的 TFT-LCD 显 示技术已经渐趋成熟，技术创新点越来越少，难免步入“量增价跌”阶段[5]。因此，降低生产成本也是厂商盈利的重要保证，而安全、平稳的转运机械手能够有效降低基板破片带来的 附加成本，研究玻璃转运机械手的轨迹优化问题对提高我国 FPD 产业竞争力具有重大的现实 意义。

本课题来源于某 FPD 产业的大型国企液晶屏生产线的实际应用需求，为了降低基板废品 率和提高面板生产效率，本文研究玻璃基板转运机械手关节轨迹优化的方法。

1。2 玻璃基板转运机械手及其轨迹规划概述论文网