紫外纳米压印光刻胶一般由主体树脂、光引发剂、溶剂以及助剂等四部分构成,根据不同的主体树脂体系,紫外纳米压印光刻胶按其固化单元不同可以把它分为环氧树脂型[14,15]、乙烯基醚型[16]、丙烯酸酯型[17-19]等。

紫外压印光刻胶材料由于光固化反应速度快,而且还有利于提高产品的生产效率,因此广大学者和专家对其进行了更加深入的研究,并为之投入了大量的精力与财力。依据所选取的引发剂的不一样及其反应原理的差异,可以分为自由基,阳离子和阴离子聚合三大反应体系,但目前以自由基固化和阳离子聚合两大体系为主[13,20]。自由基光引发体系反应迅速、性能可控、技术也较为纯熟,但此类引发剂的还有一个主要缺点是在空气中反应时氧阻效应太严重[21,22]。阳离子固化体系与光引发自由基聚合体系相比,具备以下特性:固化时体积变小,基本不会被氧气阻聚,在空气氛围中可以得到较为完全的聚合,但固化速率相对会比较慢一些。现如今,自由基固化预聚物体系中,最常见的是丙烯酸酯类树脂。阳离子固化预聚物体系主要有环氧化合物和乙烯基醚化合物两类物质。由于自由基固化预聚物体系反应迅速,且丙烯酸酯体系类的产品广泛应用于商品化,因此研究者可以用不同类别的丙烯酸酯调配出各方面性能都比较好的光刻胶;而环氧树脂虽然有机械性能优良的优点,但它的缺点是固化速率相对较慢[23];乙烯基醚反应速率较快,但其商品化产品太少,而且还需要研究者自己来合成,而且脱模也比较困难[23-26],因此丙烯酸酯体系是目前应用最广泛的光刻胶体系。来,自.优;尔:论[文|网www.youerw.com +QQ752018766-

通常紫外压印光刻胶需要具备以下几个特性:(1)粘度低(2)固化速度快(3)具有良好的脱模性能且与基片粘附性良好(4)具有高精度图形的复制能力(5)具有好的抗刻蚀能力[27]。

本文是以异佛尔酮二异氰酸酯和聚丙二醇为原料,二月桂酸二丁基锡为催化剂,对羟基苯甲醚为阻聚剂来合成聚氨酯丙烯酸酯(PUA)。通过PUA和TMPTA质量配比为1:1,然后加入含氟丙烯酸酯共混配置得到光刻胶产品。然后对光刻胶进行紫外光固化处理,得到的光刻胶对底材有良好的附着力,且具有高剥离图形转移的能力。红外光谱图证实成功的制备了含氟共聚物网格体系。在分离力;固化率;柔韧性等方面测试了光刻胶的基本性能,从而选择得到性能最佳的紫外光刻胶。

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