摘要本文首先介绍了移相干涉术的基本原理，移相算法得到的相位被包裹在 之间。为了获得被测相位，需要对包裹相位进行解包处理。本文对各种相位解包的算法进行了研究，重点研究了一种基于质量图导引的相位展开算法。该方法使用局部差分变化量法对Zernike多项式模拟的初值进行处理，生成质量图。编写matlab程序对该算法进行模拟，将算法得到的解包相位和模拟相位进行比较，结果是吻合的，说明本文研究的一种基于质量图导引的相位展开方法是相位展开的一种有效手段。63733

毕业论文关键词：移相干涉术，相位解包，质量图

毕业设计说明书（论文）外文摘要

Title  Research on a quality-guided phase unwrapping method    

Abstract The principle of phase shifting interference techniques is introduced in the paper. The phases obtained by phase shifting algorithms is wrapped between –π and π. In order to obtain the measured phase，the wrapped phase should be unwrapped. Firstly， the various phase unwrapping algorithms are introduced. The phase unwrapping algorithm based on a quality map is researched in details. Using local difference variation law of Zernike polynomial simulatd by processing the initial value of generating a quality map. The matlab program is written to unwrap the phases. The result of comparing the obtained phases and the initial phases demonstrated the validity of the method. It shows the phase unwrapping method based on the quality map is an effective method.

Keywords phase shifting interferometry， phase unwrap， quality map

1 引言     1

1.1 论文研究背景 1

1.2 论文主要研究内容及工作 2

2 移相干涉术 ...3

2.1移相干涉原理 3

2.2移相算法 4

2.3 常见的移相方法 4

2.3.1 压电晶体移相 4

2.3.2 偏振移相 5

2.3.3 光栅衍射移相 5

2.4 移相式数字波面干涉仪 6

2.5 本章小结 6

3 移相干涉中的相位解包 7

3.1 相位解包原理 7

3.2 解包算法的分类 9

3.2.1 Itoh的传统算法 10

3.2.2最小二乘法 10

3.2.3 Goldstein枝切法 11

3.2.4 网络流法 13

3.2.5 掩模切算法（mask-cut） 14

3.2.6 质量图导引法 14

3.2.7 各种算法的适用性比较 15

3.3 本章小结 15

4 基于质量图的相位展开方法 16

4.1 质量图的生成 16

4.2 一种基于质量图导引的相位展开算法 17

4.2.1 Zernike多项式生成相位初始值 18

4.2.2 包裹相位的展开 19

4.3 对解包结果的评价 21

4.4 相位解包方法的发展趋势 22