基于质量图导引的相位展开方法的研究(3)
2.1移相干涉原理
激光干涉仪的类型很多，有牛顿型、迈克尔逊型、泰曼-格林型、斐索型等等。虽然其原理都是利用激光的干涉原理，但在光机结构和算法分析上有所不同。其中以压电陶瓷移相的斐索型激光干涉仪应用最广泛，也是现今世界上公认测量精度最高的光学计量仪器
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2.1移相干涉原理
激光干涉仪的类型很多，有牛顿型、迈克尔逊型、泰曼-格林型、斐索型等等。虽然其原理都是利用激光的干涉原理，但在光机结构和算法分析上有所不同。其中以压电陶瓷移相的斐索型激光干涉仪应用最广泛，也是现今世界上公认测量精度最高的光学计量仪器