毕业设计说明书中文摘要伴随着科学技术的发展，光学元件在天文，航天，能源等前沿科学领域逐渐得到广泛应用，对光学元件测量精度的要求也越来越高。移相干涉技术（PSI）是现有的测量精度很高的一种手段，但是在传统的移相方案中，环境中的振动仍然会给系统的测量带来很大的误差。81854

为了消除环境振动的影响，本文将研究空间移相干涉术中的同步移相干涉方法。这种方法可以在同一时间内得到多幅干涉图，从而提高测量的精度。目前国内外同步移相干涉仪器中泰曼型的居多，所以论文重点研究了斐索型同步移相干涉仪，包括如何将参考光和测试光进行分离，从而引入偏振移相；如何设计基于偏振移相的斐索型同步移相结构；设计满足设计要求的波片与光栅，选择合适的光源及成像器件；使用琼斯矩阵进行原理性计算；搭建实验平台，采集实验图像，分析实验数据以及实验误差。

毕业论文关键词：同步移相 斐索型 抗振 琼斯矩阵

毕业设计说明书外文摘要

Title   Research on the test technology of Fizeau synchronous phase  shifting interferometry based on polarization phase shift。                                                 

Abstract With the development of science and technology,the optical elements in the forefront of science,astronomy,aerospace,energy and other fields have been widely used, and the measurement accuracy of the optical elements are in increasingly high requirements。 Phase shifting interferometry(PSI) is a conventional high measurement accuracy, but in the conventional phase shifting schemes,environment vibration still be a great error in measurement system。

In order to eliminate the impact of environmental vibration, this article will examine the spatial phase shifting interferometry in synchronous phase shifting interferometry。 This method can obtain multiple interference patterns at the same time, in order to improve the measurement accuracy。 At home and abroad,there are too many Twyman synchronous phase shifting interferometer, so this paper focuses on the Fizeau synchronous phase shifting interferometer, including how to separate the reference light and the test light, thereby introducing polarization phase shift; how to design based on polarization Fizeau-type phase synchronous phase shifting structure; designed to meet the design requirements of the wave plate and grating, select the appropriate light source and the imaging device; the principle of using Jones matrix calculation; experimental platform, image capture experiments, analysis of experimental data and experimental error。

Keywords: synchronous phase shift；Fizeau；vibration-resistance；Jones matrix。

目   次

1  绪论 1

1。1 研究背景 1

1。2 国内外的研究现状 1

1。3 课题的主要任务 3

2  同步移相干涉技术的研究 4

2。1 移相干涉术的简介 4

2。2 移相干涉术的基本原理 4

2。3 移相方法的分类 6

2。4 同步移相干涉的基本原理 7

2。5 本章小结 12

3  斐索型同步移相干涉系统的设计 13

3。1 系统总体框架的建立 13