摘要本文主要介绍了薄膜测量技术现今发展和现状，相关背景和意义。介绍了测量薄膜厚度的主要方法,着重包括椭偏仪的使用方法和测量薄膜厚度的原理，以及白光干涉法测量薄膜厚度的原理和方法。分别利用椭圆偏振法和白光干涉法测量薄膜厚度，分析实验数据，讨论实验过程中的各种影响实验结果的因素找出改进方法。对两组实验数据进行误差分析，对比两种方法的测量精确度，讨论二者的适用范围。86080

毕业论文关键词  薄膜厚度测量  椭圆偏振法  白光干涉法   

毕业设计说明书外文摘要

Title   The study on measurement methods of thin film thickness                 

Abstract In this paper, we make a research about the development and the current situation of the film thickness measurement and we introduce the relevant background and significance of the film thickness measurement , followed by the introduction of several methods of measuring the thickness of the thin films。 And focus on the principle of the ellipsometer use and its method of measuring film thickness, and the principle of the white light interference and its method of film thickness measurement。Respectively measure thin film thickness by elliptical polarization method and white light interference method, and analyze experimental data while discussing all the factors that affect the experimental results and find out the solutions。 Make error analysis and use data contrast in order to identify the measurement accuracy,and finally discuss their applicable scopes。

Keywords  film thickness measure   Elliptical polarization method     White light interference

目   次

1  引言 。。 1

2  测量薄膜厚度的主要方法介绍2

3  椭圆偏振法测量薄膜厚度5

3。1 椭圆偏振法的原理和方法。。。5

3。2 实验测量。。。5

3。3 实验数据分析。14

4  白光干涉法测量薄膜厚度 。17

4。1白光干涉法的原理和方法 。17

4。2实验测量 。19

4。3实验数据分析 。20

  结论21

致谢22

参考文献。。。。。。。23

表1   14表2 14表3   15表4 15表5 。。。。20

1  引言

    对于薄膜而言，厚度是不可忽视的一个参数。凡其厚度与入射光波长相比拟的并能引起干涉现象（相干光程小于相干长度）的膜层为薄膜。现如今，薄膜技术在高新技术方面有着重要的应用和发展。薄膜种类繁多，各个领域对其的研究都有着极大的进步[1]。在人类的生产与生活中，各类薄膜的应用层出不穷，比如高温超导薄膜，光学薄膜，微电子薄膜，抗氧化薄膜，巨磁电阻薄膜等。在一定的程度上，膜的厚度决定着薄膜的各种性能，例如力学性能、电磁性能、光电性能和光学性能等。在一些方面，膜的厚直接关系到该薄膜材料可否正常工作[2]。除此以外，厚度还一定程度上影响着薄膜材料的磁性能、热导率、力学性能、透光性能、轮廓构造等。 因此要精确测量薄膜厚度和折射率就显得至关重要。作为当前材料科技的研究热点，薄膜技术特别是纳米级薄膜技术的迅速发展, 人们已经开始高度重视起来精确测量薄膜厚度及其折射率等光学参数的重要性。怎样选择契合测量要求的测量方式和仪器是个重要问题，因为薄膜和衬底材料的性质和形态差异。每一种测量方法和仪器都有属于各自的适用范围、使用要求、特色、精确性、及局限性[3]。 薄膜检测技术已成为正在朝着综合性不断发展的一门应用科学。在这个方面，我国技术仍然有待提升，还有很多方面需要向国外借鉴学习。国内也是近些年才开展起来有关于薄膜特性测量技术领域的研究，基本上依旧处于探索和发展阶段，与国外相比，整体水平差距较大。而在一些发达国家如美国俄罗斯，薄膜技术现已经被全方位推广应用，很多产品已经具有很大的生产规模模式。大规模集成电路的生产产业中，由于不断提高的电路集成水平和发展，薄膜的应用也在不断普及，由于薄膜厚度的任何细小变化都会直接影响集成电路的机能, 因此薄膜厚度的测量不论是在实验过程中还是生产工艺当中都有着至关重要的地位[4]。论文网