光学干涉检测技术是一种以光波干涉原理为基础的计量测试方法，是公认的检测光学元件、光学系统最有效、最准确的手段之一。干涉仪是采用干涉检测技术的典型仪器，其具有非接触检测的特点，可以快速高精度地获取被测元件信息，并具有比其它类型的检测仪器更高的灵敏度与更好的易用性。目前干涉仪的发展体现出更高的空间分辨率、更宽的波段和动态高速测量等特点。

我国自上世纪60年代王淦昌先生提出激光核聚变的思想就开始了相关的研究工作。目前正在建造的神光一Ⅲ型装置有64路激光，设计输出总能量为60KJ[6]该装置将于2012年建成并实现点火，这将是我国规模最大的激光系统。目前，神光．III原型装置“十五’’建设目标己圆满完成，达到“8束出光，脉冲一万焦耳’’的水平，标志着我国成为继美、法后世界上第三个系统掌握新一代高功率激光驱动器总体技术的国家，使我国成为继美国之后世界上第二个具备独立研究、建设新一代高功率激光驱动器能力的国家。63718

由于这些强激光系统超短时间内输出超强功率的特点，受限于光学材料特性以及激光损伤阈值的要求，强激光系统往往采用多路结构，而每条光路中采用了大量的光学元件，例如NIF采用了约7360件大口径光学元件，而神光．III则需要3000多件大口径光学元件。这些数量大、种类多的大口径光学元件引入强激光系统后，ICF驱动器对焦斑特性的要求以及对光束非线性自聚焦的控制都需要对光学元件波前畸变提出合适的评价指标。由于不同空间频率波前畸变的传输性质不同，对光束质量的影响方式也不同，需要针对不同频段采用合适的评价方式分段提出[7]。高功率固体激光装置中大口径光学元件引入的波前畸变几乎覆盖整个空间频率范围，将影响焦斑主瓣、焦斑旁瓣[8]以及光束近场 [9]。美国LUNL实验室经过多年的理论分析与实验研究，提出分频段分析控制元件面形质量的方法，将NIF系统中光学元件面形误差引起的波前畸变划分为三个空间频率段进行分析[10,11]。

（1）国外的研究进展情况

A. 澳大利亚大口径数字干涉仪LADl300[12,13](图1.1)

1999年，澳大利亚联邦科学与工业研究组织(CSIRO)研制出LADl300型大口径数字干涉仪(LargeAperture Digital Interferometer)。该设备高2．5米，重1吨。该干涉仪通光孔径为320mm，采用的离轴准直物镜焦距2581mm。半导体激光器采用东芝TOLD9140型波长调谐激光器，工作波长为690．7nm，后接单模偏振光纤将激光引入到一个变焦系统，出射发散角最大可达30°。

 LADl300型大口径数字干涉仪

    B. WYKO 24英寸(610mm)斐索移相干涉仪[14~17]（图1.2）

1999年，美国WYKO公司研制成功了7台610mm口径的斐索型干涉仪用于满足NIF光学元件的检测需要。该干涉仪为卧式斐索型结构，HeNe激光光源的工作波长为632．8nm，通过调节光源可变换其偏振态成为p偏振光或S偏振光，在布儒斯特角下可以测量口径为780mm×430mm的光学件。论文网

WYKO 24英寸(610mm)斐索移相干涉仪

C. ZYGO大口径激光干涉仪系统[18,19]（图1.3）

  1999年，美国ZYGO公司推出了大口径激光干涉仪系统。该系统是双通道测量系统，小口径4英寸(100mm)测量通道和大口径测量通道均具有多种高精度测量模式，如相位调制、波长调制、动态测量等。大口径激光干涉仪从常规的4英寸口径拓展到12英寸(300mm)、18英寸(450mm)、24英寸(600ram)、32英寸(800mm)和36英寸(900mm)。

 ZYGO大口径激光干涉仪系统

    D. 4D technology公司FizCam2000 12英寸动态干涉仪（图1.4）