2008年，美国4D teehnology公司推出了300mm口径的动态干涉仪FizCam2000[20]，用于测量大口径平面光学元件。FizCam2000运用动态干涉术可以在不超过1毫秒的时间内完成测量，所以对振动和空气扰动都不敏感，可以用于没有隔振措施的测量环境中。次干涉仪采用了短相干光源技术[21]。

 4D technology公司FizCam2000 12英寸动态干涉仪

（2） 国内的研究进展情况

A. 250mm红外移相式C02激光干涉仪（图1.5）

1996年，我校成功研制了大孔径红外移相式C02激光干涉仪[22]。主光路是Fizeau型平面干涉仪。

 250mm红外移相式C02激光干涉仪文献综述

  B.500mm波长调谐移相干涉仪（图1.6）

2005年，成都精密光学工程研究中心研制成功T0500mm波长调谐移相干涉仪[23]。该干涉仪光源采用美I垂INewFocus公司的可调谐半导体激光器，波长范围从632．697mn到632．912nm。干涉仪采用Fizeau型结构，光学系统的主要部分包括成像、调整、准直、扩束等都被集成在主机平台上，以保证光轴的一致性。成像部分采用旋转毛玻璃与可连续变焦透镜的组合来实现。