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    摘要半导体行业的飞速发展，催生了许多与之相关的研究。作为半导体生产线的一种简化模型，微型半导体生产线（MINIFAB）就是诸多的研究手段之一。菲尼克斯电气公司的AXC3050控制器,下位机软件PC WORX，OPC配置器，上位机组态软件Visu+共同构成针对MINIFAB的SCADA监控系统。28913
    本文的主要工作是设计满足MINIFAB系统需求的数据库，使用Visu+通过OPC与下位机通信，设计人机界面，显示生产线设备动态运行，满足用户查看订单，添加投料，文护等功能。并且提供性能图表对应用于模拟生产线的不同调度算法进行分析。
    关键词  微型半导体生产线  数据库  SCADA  Visu+  OPC  数据采集
    毕业论文设计说明书外文摘要
    Title  The Realization for the Production Data Acquisition and Performance Statistics Module of the Micro  Semiconductor Fabrication（MINIFAB）                
    Abstract
    With the soar of the semiconductor industry，there has spawned a lot of research on semiconductor fabrication. Micro semiconductor fabrication (MINIFAB) is one of the research means. It is a simplified model for semiconductor fabrication. The PLC of the MINIFAB system is the AXC3050 controller from the Phoenix Contact Company. Moreover, the SCADA monitoring system for MINIFAB is constituted of the company supporting slave computer software PC WORX, OPC configuration device and the master computer software Visu+.
    In this paper, we design a database to meet the demands of the MINIFAB system and focus on the design of human machine interface (HMI) which shows the dynamic operation of equipment. With this HIM, Users could view the orders or add release plan, maintenance plan and so on. The HMI also provide graphs to analyze performance of the MINIFAB with different scheduling algorithms.
    Keywords  MINIFAB  Database  SCADA  Visu+  OPC  Data acquisition  
    目   次
    1  绪论    1
    1.1  课题背景    1
    1.2  MINIFAB系统概述    3
    1.3  论文结构安排    5
    2  数据库设计    7
    2.1  MySQL简介    7
    2.2  数据库设计的三条规范    7
    2.3  E-R图（实体-联系图）设计    7
    2.4  关系模型    7
    2.5  数据库建表    9
    2.6  数据库通信    11
    3  SCADA界面设计    12
    3.1  Visu+简介    12
    3.2  基本需求分析    12
    3.3  主界面    12
    3.4  系统信息界面    15
    3.5  参数设置界面    18
    3.6  文护任务界面    20
    3.7  计划信息界面    24
    3.8  派工信息，加工流程界面    26
    3.9  性能图表界面    28
    3.10  报警界面    30
    3.11  调度规则界面    31
    4  SCADA与下层通信    33
    4.1  OPC简介    33
    4.2  主要OPC变量表    34
    5  MINIFAB性能分析    37
    5.1  微型半导体生产线的性能指标    37
    5.2  性能指标数据来源    38
    5.3  三种调度算法比较    38
    结论     43
    致谢     44
    参考文献    45
    1  绪论
    1.1  课题背景
    1.1.1  半导体生产线简介
    自20世纪以来，半导体产业作为当代高新技术产业群的核心之一，社会的发展与其息息相关，已然成为了当前国民经济的支柱产业。
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