附录2  13000 系列 CF-F阀体的配置表    32 
1  引言 1.1  真空技术 在真空科学中，真空的含义是指在给定的空间内低于一个大气压力的气体状态，人们通常把这种稀薄的气体状态称为真空状况。随着现代科学的发展，真空，越来越成为一个重要的课题为人们所研究，究其原因，在于真空条件下可以实现很多常规条件下无法获得的现象，实现很多功能。 真空主要有如下几个基本特点：（1）真空状态下的气体压力低于一个大气压，因此，处于地表的各种真空容器中，必将受到大气压力的作用，其压强差的大小由容器内外的压差值而定；（2）真空状态下气体稀薄，分子之间、分子与其他质点（如电子、离子等）之间以及分子与各种表面（如器壁）之间相互碰撞次数相对减少，使气体的分子自由程增大；（3）真空状态下分子密度小，氧、氢等气体含量  ( 也包括水分的含量  ) 也将相对减少。 真空状态根据压力的不同，可以细分为超高真空、高真空、中真空、低真空、粗真空[1]。在不同的真空状态下、应用各种不同的真空工艺、达到为生产及科学研究服务的目的。可以说  ，从每平方厘米表面上有上百个电子元件的超大规模集成电路的制造，到几公里长的大型加速器的运转，从民用装饰品的生产到受控核聚变、人造卫星、航天飞机的问世，都与真空工艺技术密切相关。 真空技术在今后的发展，将会作为一种重要的技术被广泛运用，其发展方向，一是增加真空技术的运用领域；二是努力满足微小化领域（纳米科技和固体元件的研制）、巨大化领域（如核聚变的研究）的实际功能需求。
1.2  插板阀的发展及运用 从真空的角度上来说，真空阀门的主要要求有：通导调节性能好、源]自{优尔^*论\文}网·www.youerw.com/ 通导大、密封可靠等，插板阀在这些方面的有点是非常明显的，比如超高真空插板阀。超高真空插板阀主要在超高真空系统中运用，特别是对超高真空的环境要求比较高得半导体之中业中，主要用于真空系统的管道切断，管道接通和管路连接气体流量调节。 插板阀的运动部件即启闭件是闸板。插板阀闸板的运动方向与管路中的流体介质的运动方向相互垂直，在流体介质流通管路中的主要作用是切断、阻止流体介质的运动，一般情况下并不会起到调节阀或者节流阀的功能，并逐步取代了以往通用的切断阀门[2]。插板阀的原理简单地描述为，闸板上有一个与管路通径大小一致的圆口，通过闸板启闭使得闸板上的圆口跟管路通径不同程度的完全贴合、全通、部分贴合的动作（如图1所示）。 
a．全通情况;b.部分贴合情况;c.完全贴合情况 图1.闸板启闭与管径的不同贴合程度 在现代工业生产中，插板阀的使用无处不在，从矿山、电厂、冶金行业[3]的选煤、排矸、排渣，到城市的污水处理、机械设备、公路建设设备、航空航天、轮船[4]、等等，从一般的工业管道到食品、卫生、医药等专业管道系统，插板阀都有运用。 插板阀按照驱动装置的类型来分，可以分为电动、电液动以及液动三种，每一种插板阀包含两种驱动装置，一种是负责通孔阀板与盲板阀板的转换用途的，另一种驱动装置是负责压紧阀板密封圈以实现密封[5]。其中，液压式插板阀的结构比较简单[6]，电动插板阀又称电动插板门，具有精密构造，工艺性好，结构紧凑等特点。插板阀使用工况不同于一般工业管道阀门，其密封副的设计中，最为关键的是保证密封面上不积存物料[7]，否则可能出现泄漏的情况。 插板阀工作平稳，结构简单，操作灵活，强度高，性能好，使用寿命长，省时与省力的优点。插板阀的结构如图 2所示，主要由锁紧螺母、丝杠螺母、手轮、丝杠、支架、填料压盖、填料、楔形压块、阀体、阀座和闸板等 11 个部分组成［8］ 。通常情况下，插板阀的阀体、填料压盖采用铸造碳钢或不锈钢材质；闸板为不锈钢或不锈铁材质；阀杆为不锈钢材质；密封面有硬质合金或软密封两种。如有耐高温高压等特殊要求，阀体、闸板等可选用铬钼钢材质。