附录C  迭代算法  32

附录D  极坐标与直角坐标转化算法  33

1  绪论

1。1  研究背景

1。2  主要研究工作及论文结构安排

1)由于研究平面绝对检测的相关问题，在参阅了国内外数十年关于平面绝对检测文献的基础上,对光学平面检测技术的背景和各个方法的原理做出综述。

2)在本次设计中，主要采取斜入射的方法为基础，研究非相关误差在平面绝对检测上的作用，在参阅了国内外关于斜入射绝对检测文献的基础上，对斜入射绝对检测原理进行理论分析,编写实际计算程序,并针对此方法进行了仿真分析。

3)在研究斜入射绝对检测原理时，采用矩阵算法和迭代算法作为绝对检测算法，根据算法原理编写计算程序，将模拟数据代入程序中，并分别计算出被测平面在垂直和水平方面的绝对面型分布。

4)由于非相关误差概念未被深入的研究探讨，根据概念对非相关误差进行定义。并基于斜入射平面绝对检测，分析非相关误差的产生机理，并根据非相关误差定义计算非相关误差，针对两种算法分别得到关于平面非相关误差的数值分布，并根据得到的非相关误差比较两种算法。

5)引入调整误差（由于旋转误差）以分析其选用两种不同算法下导致的非相关误差，并根据得到的非相关误差进行分析。

    本论文将通过如下组织结构进行论述。本论文分为六个章节，第一章为绪论，主要对平面绝对检测技术的背景和各个方法原理做出综述，总结本次设计的主要内容和论文的结构安排。第二章针对斜入射绝对检测方法，矩阵绝对检测算法和迭代绝对检测算法进行原理分析论述，并对非相关误差进行定义描述。第三章分别将矩阵算法和迭代算法作为绝对检测算法进行仿真分析，并将结果作为研究非相关误差时的比较数据。第四章详细论述了使用非相关误差作为平面绝对检测评价方法进行的仿真分析，并以此为依据对矩阵算法和迭代算法进行比较分析。第五章主要研究在引入旋转误差对绝对检测的影响。第六章对在设计中的未解决问题进行了详细的论述，并对全文进行总结和展望。论文网

2  原理2。1  斜入射绝对检测原理

    斜入射绝对检测装置如图2。1所示，其中干涉仪主要选用的斐索干涉仪，斐索干涉仪主要是由照明光路﹑扩束准直光路﹑检测光路（干涉腔）﹑成像光路﹑调整光路五个主要光路构成。其主要基本原理如下：激光器出射的高斯光在通过显微物镜和空间滤波的小孔之后，滤去部分非零频率成分的杂散光线，光波向前传播后经过扩束系统和PBS分束器，经准直以后达到检测光路，就平面检测而言，准直光束直接照射到参考面返回的平面光波从而形成参考光束。参考光束和被测光束经过原路返回，成像于成像系统物面和准直物镜前焦面处所放置的高速旋转的毛玻璃上，光源的时间相干性及空间相干性降低，散斑﹑高频面形误差和相干噪声均被滤掉，经过变焦成像系统将干涉图像最终成像到探测器CCD上，从而得到干涉条纹[18]。获得干涉条纹的方法主要有条纹扫描法、移相干涉术、外差干涉术等方法，其中发展最为迅速的移相干涉术中采用光电定量进行探测的移相干涉术，把测量目标由条纹本身转到条纹的相位即条纹的1/360，通过计算机处理得到各点精确的相位数据，从而提高了检测分辨率。CCD获得的干涉图像具体数据处理步骤如下：干涉图采样与预处理﹑移相干涉算法复原波面﹑Zernike多项式波面拟合和绘图列表输出。在此处理过程中将会得到PV值(峰谷值)、RMS(均方根)等面形特性参数。