灵敏度。传感器处于稳定工作状态时的输出量与输入变化量的百分比，被称

作为传感器的灵敏度。 精确度。精密度，正确度，精确度。是能够准确描述精确度的三大重要指标。 精密度。稳定的被测量，用同一种方法，经过同一种传感器，用同一个测量

仪器，在短时间内快速的等精度的多次测量，这样测得的测量结果的分散程度， 被称作为精密度。这个测量的结果的分散程度越小，也就说明了此次测量的精密 度越高。随机误差也就越小。系统也就越可靠。

正确度。真实值偏离实际测量的结果的大小，被称作为正确度。也就是显示 值有规律的偏离真实值的程度。实际测得的测量值和真实值的符合程度，这个符 合程度越大，对应的系统误差越小，系统越可靠。

精确度。精密度和正确度两者相加的和（代数和或是向量和），即为精确度。 也就是测量的综合优良程度。在简单的条件下，精密度和正确度的代数和，可以 表示为精密度。而在一般的条件下，测量误差的相对值，会作为精确度的有效表 示[2]。

引入精确度等级的概念，它是以百分比数为表现方式。这个数值是在规定的 条件下。其允许的最大绝对误差值相对于其测量范围（满量程）的百分比。它可 以用下式表示：

A ----测量范围内允许的最大绝对误差；

YF S ---满量程输出。 传感器在最初设计以符合工程要求时，其精度等级代表的误差指传感器测量

的最大允许误差。 最小可探测量和分辨力。可以准确地反映最小可检测量是指传感器通过测量

最小是极为有限的。最小可检测量越小，传感器检测到的跟踪能力越高。由于传 感器检测的最小容易受噪声影响，所以我通常使用几次就相当于噪声水平的测量 作为最小可检测量，用公式表示为：

M CN

K （1-2）

式中 M-----最小检测量；

C------系数（一般取 1 到 5）；

N------噪声电平；

K------传感器的灵敏度。 迟滞。传感器先天设计上的缺陷，制造工艺的缺陷，和机械结构上的缺陷都

会造成系统的迟滞现象。轴承摩擦，间隙，螺钉松动，元件腐蚀，碎裂，积塞灰 尘都是可能会会造成系统的迟滞。

重复性。在相同的工作环境和在相同的工作条件下，在同一输入量在极短时 间内的连续多次的输出量的不一致。导致系统的特性曲线往往会不同。偶然误差 可以用来描述重复性的大小。但是这个不能作为与真值之间差别的硬性指标。因 为往往系统的重复性非常好，但是检测值与真值却相差的非常大。

零漂。传感器在没有输入值得情况下（或某一值输入值不变时），每隔一段 时间进行读数，其输出偏离零值（或原示值）即为零点漂移。即是零点漂移。在 无输入量的情况下，也就是每隔一段时间去读数，发现基准输出值不在零点上。论文网

温漂。温度漂移。在温度变化时，传感器输出偏离零点的程度[3]。

1。4 电容式位移传感器

电容式位移传感器的主要工作原理，就是测得被测量的位移变化转换为电容 量变化的一种传感器，实质上就是一个上下极板间距可变的电容式传感器。

和其他的传感器相比，电容式位移传感器具有稳定性好，结构简单，适应性 强，动态响应好，分辨力高，工作可靠，易实现非接触量，具有平均效应等优点， 而且能在高温，辐射和强震动等恶劣条件下工作。电容式位移传感器广泛的应用 在多种检测系统中，用以测量各种各样的物理量。