摘要随着微加工机电方面工艺的显著提高，有着高一致性系统，低成本， 分析快速等优势的微流控芯片越来越被大家关注和重视，对微流控方面 的研究也越来越深入，MEMS 微流控芯片的研究是目前芯片微系统和纳 米科学技术发展的重要领域和方向。本论文对 MEMS 微流控芯片进行了 基础性的研究。研究内容主要包括：78238

COC（环烯烃共聚物）微流控芯片微通道的制作；COC（环烯烃共 聚物）微流控芯片电极的制作；COC（环烯烃共聚物）微流控芯片的封 装工艺；微流控芯片检测系统的构建等。

文章第一部分主要对微流控芯片的概念做了详细的介绍，通过分析 微流控发展史和技术特点深入探讨了微流控芯片的发展方向和发展前 景。并简单介绍了微流控芯片常用的制备工艺和优缺点。

文章第二部分主要介绍了利用 MEMS 技术结合微注塑成型技术的微流 控芯片微通道制备工艺、制备过程中可能出现的缺陷和相应的解决方案。 同时分析了微通道制备工艺的优缺点。

文章第三部分主要介绍了微流控芯片电极的制备工艺，并简单介绍 了微流控芯片离子检测系统的建立，分析了基于 MEMS 电化学检测芯片测试系统的优势。

毕业论文关键词：MEMS;微流控;离子检测

Abstract With the significant improvement of micro machining technology, microfluidic chip with a high consistencysystem,lowcost,rapidanalysis and other advantages is more and more attentioned by people。 With the research on the microfluidic is more and more deeply, the research of MEMS microfluidic chip are going to be an important field and direction of the chip micro system and nano technology。

In this paper, the basic research of MEMS microfluidic chip is studied: COC (copolymers of cycloolefin) microfluidic chip micro channelmaking; COC (copolymers of cycloolefin) microfluidic chip electrode fabrication; COC (copolymers of cycloolefin) microfluidic chip packaging technology; microfluidicchip detectionsystem construction。

The first part mainly introduces the microfluidic chip in details, Based on the analysis of the development history and technical characteristics, the development direction and development prospect of microfluidic chip were discussed。 And we make a brief introduction of the micro fluidic chip used forpreparation process and the advantages and disadvantages。

The second part of thepapermainlyintroducesthepreparation process of microfluidic chip micro channel, the possible defects and the corresponding solutions, and we analyzed the advantages and disadvantages of microchannel fabrication process。

The third part of the papermainlyintroducesthepreparation technology of micro fluidic chip, and introduces the establishment of the particle detection system, and analyzes the advantages of this system。

KEY WORDS : MEMS; Microfluidic; Ion detection

目录

第一章 绪论。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。

1。1 微流控芯片的介绍。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。

1。1。1 微流控芯片的发展历史。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。