2。5。1 光刻胶厚度 13

2。5。2 辅助电极 14

2。6 微电极制备的设备和原理 15

3。4 离子检测系统的原理 17

第三章 实验和结果分析 20

3。1 微通道的制备 20

3。1。1 前期准备 20

3。1。2 曝光 20

3。1。3 显影和坚膜 20

3。1。4 注塑成型 20

3。2 注塑成型的缺陷分析 21

3。2。1 龟裂 21

3。2。2 填充不足 21

3。2。3 翘曲变形 21

3。3 微通道制备实验总结 22

3。4 微电极的制备 22

3。4。1 衬底表面分析 22

3。4。2 金属 Au 和金属 Bi 电极的制备工艺 24

3。4。3 Ag/AgCl 电极的制备 25

3。4。4 金属 Cr 的去除 26

3。5 实验分析 26

第四章 总结与展望 30

4。1 试验总结 30

4。2 展望 30

致谢 32

参考文献 33

第一章 绪论

1。1 微流控芯片的介绍

微流控芯片（微全分析系统）是在石英、玻璃、硅和高分子聚合物等基底材料 上制造微管、微反应器、微阀和电极等单元组件，以分析化学为理论基础，集化学、 生物、医学分析等过程的样品制备、前处理、反应、分离、检测等基本操作单元于 一体的微米尺度的芯片，并在芯片上自动完成分析全过程。微流控芯片又被称做芯 片实验室，是当前主流技术微机电加工（MEMS）的典型应用和发展方向，其最终 目标是实现微全分析系统。论文网

1。1。1 微流控芯片的发展历史

1。1。2 微流控芯片的特点

微流控芯片（microfluidic chips）又被称为芯片实验室，是实现微流控技术的主 要技术装置，其最大的特点是能够在至少一个维度上容纳流体的有效结构为微米级 尺度。微流控芯片可以在短短几分钟内进行上白个式样的预处理和分析全过程，同 时具有着消耗实验原料少、液体流动可控、分析速度快等特点。

随着微流控芯片技术的改进和式样分析的需求增加，芯片结构也变得更加灵活 多样，出现了一批各种各样的芯片结构。而由于化学分析越来越多样性和复杂化的 要求，一块芯片基片上经常需要集成多种功能单元模块，微流控芯片变得更加集成 化和组合化。

1。1。3 微流控芯片的应用现状

1。1。4 微流控芯片的发展前景

1。2 微流控芯片的材料和工艺

1。2。1 微流控芯片的材料

芯片材料的选择是微流控芯片设计的首要问题，选择材料时，不仅要考虑散热、 绝缘、相容性等物理化学方面的可靠性，还要考虑实际加工生产的可行性。制作微 流控芯片的主要材料有：硅、石英、陶瓷、玻璃、高分子材料等等[14-15]。选择合适的 材料是微流控芯片制作成功的前提。文献综述