研究MEMS发火装置引信的微型化、高可靠性等有重要的意义。

1.1.2  MEMS技术介绍

    MEMS是微机电系统（Micro Electro Mechanical Systems）的英文缩写。MEMS是随着微加工技术和超精密机械加工技术的不断发展而逐渐发展起来的。利用与集成电路相容的工艺方法，制造出来的产品具有微型化、集成化、可靠性高、能耗低等优点。

    MEMS技术是一门交叉学科，涉及到电子工程，机械制造，物理，材料学，信息学，自动控制，化学等多种学科。

    MEMS技术特点主要是[1] ：（1）微型化；（2）以硅为主要材料，机械电器性能优良；（3）批量生产；（4）集成化；（5）多学科交叉。

1.1.3  引信安全系统发展状况

     引信是利用环境信号和目标信号，在一定的条件下以一定的作用方式，由保险状态转变为待发状态，进而作用引燃或引爆战斗部装药的控制系统。主要包括发火控制系统、安全系统、传爆序列和供能装置这四个部分。引信在军事应用中是一个极为重要的部分。随着新型装备的不断发展，对引信也提出了更高的要求。

    从引信安全系统的发展过程来看，主要有机械式引信安全系统、机电式引信安全系统和电子式引信安全系统。

    机械式引信，引信中保险机构利用环境力工作，当环境力到达某一指定数值后，保险机构克服约束部件的约束，发生移动，释放被保险机构，使它迅速由安全状态转变为待发状态，作用方式为机械驱动，大多采用钟表机构实现解保。

    机电式，在与被保机构的隔离方式上依然是机械隔离，区别是机电式安全系统利用环境传感器对环境信息进行识别并交由逻辑判断器处理，再传输给安全执行机构，安全性和可靠性大大提高。

    电子式，不需要机械隔离，采用以钝感起爆药为首级爆炸序列，通过控制发火能量的供给保障引信安全。电子安全系统的保险逻辑是基于多个环境激励识别的决策，一般将电源信号、离架信号等作为启动决策的信号，当解保程序启动之后，该系统凭借控制芯片的控制功能，进行严格的逻辑控制，以确保弹道安全。电子安全系统采用三个环境激励控制3个保险开关解除保险逻辑方式[2]。

1.1.4  MEMS在引信中的的应用

MEMS技术卓越的优势，满足了引信发展的要求，以研究MEMS为基础的引信成为当今的热点。微机电系统在引信中的应用，主要包括引信的安全系统、引信发火系统、引信控制系统、引信测试系统。MEMS在引信中得到广泛应用，主要是由于传统的器件在抗过载和体积上难以满足高技战术指标的要求，而MEMS在抗高过载和体积上体现了它的优势，具有很大的潜能。随着MEMS技术不断发展，还可能产生出新体制、新原理的引信或机构及系统[3]。论文网

1.2  MEMS微安保装置国内外研究状况

1.3  法国LAAS-CNRS实验室MEMS引信安全发火装置

    这个安全的、电操作的MEMS发火装置，由带有含能材料的点火器和三个独立作用的电热MEMS微开关（一个常开微开关，两个常闭微开关）组成。

电路功能由以下四部分组成：

(1)一个火工微点火元件：选择一个可以电能转换为热能点燃火工药剂的电阻元件。在安全和保险模式下，点火器是接地的。

(2)一个解除保险功能：当且仅当点火条件满足时，它使得点火器解除保险准备发火。当点火器解除保险时，接地的短路被断开，点火器与电源接通。