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双频激光干涉仪信号处理与验证卡设计规划与测试(4)
从(6)可看出,被测物体从0到时刻的位移可通过两个部分的叠加计算得到,一个是对参考信号和测量信号的整周期数计数,另一个是通过测量和两个非整周期相位值获得,如图2所示。上式写成时间形式为
其中记号为参考信号的最后一个非完整周期从其上升沿至测量时间的时间,为最后一个周期时间;记号和为测量信号的对应含义。
根据上述分析,在不考虑激光波长与激光路径折射率变化的情况下,对于位移测量,仅需要对整周期数进行计数并测量非整周期的相位即可,进而根据上式计算出位移。
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