mocvd行业，外国的垄断的局面已经结束，但初期阶段，国内的mocvd还不是非常成熟。但是，因为国内的基本需求很大，因此国内半导体产业规模是非常大的，mocvd技术逐步的发展。而且吸引了很多企业进这个行业。

近年来，国内对mocvd等设备也进行了研发和测试，已经有一些型号的mocvd设备投入生产和工业上面的使用，国内外的照明行业和芯片行业的公司都已经开始使用国内生产的mocvd 设备，这是国内mocvd技术进步的证明，将来，国内的mocvd技术必将向国际市场进军，这意味着中国半导体行业正在飞速发展，现在PSS技术还在不停的发展，因为照明市场的前景非常的广阔，图形尺寸和形状都在向多方面发展，图形将越来越精致，将会不停的推进中国照明事业的发展。

1.3 研究内容

本文研究了PSS技术的特点和技术的发展历程，对部分PSS原理和技术进行了阐释，介绍了LED的发展历史，发展难题，简介了PSS技术的发展过程和趋势，对国内外的发展过程进行了介绍

本实验通过对PSS的研究，比较不同参数的PSS的光学特性，通过摇摆曲线、EL、PL、拉曼光谱的测试比较晶体的质量和蓝宝石衬底的出光效率，系统研究图形化蓝宝石衬底的图案对于LED的性能影响。

2 LED简述

发光二极管是一种半导体器件，最初常常被作为指示灯、显示灯等使用，随着LED的发展，二十世纪末，LED发展迅速，科学家们发现了高亮度的GaN材料LED，二十一世纪，LED成为照明领域的主旋律，白光LED的出现使照明领域发生一场改革。

2.1 LED在光照领域的优势

LED是一种固体冷光源，是新一代的节能绿色光源，出光效率比普通白炽灯高几十倍，由于其材料特性，LED一般采用电压电源，安全得到保障，不管是工业，生活，公共建设领域均可以使用，且其构成不含有重金属等污染物质，比较环保。LED的结构使其的性质有着高的可靠性，这都是其他光源没有的优点。

不仅如此，LED的质量一般很轻，体积较小不会占用太多的空间，因此适用于各种环境，LED已经和人类的生活密切相关，在各种电子器件的领域，都能看到LED的踪迹，LED将来还会向汽车工业、建筑照明等发展，随着科学技术不停的发展，LED的性能不断提高，LED应用领域将会更为广泛[4]。

2.2 LED发展中遇到的问题

LED在照明领域有很多优势 ，但依旧在不停的发展和完善中，现在主要面临如何提高发光效率、如何降低散热以及如何降低成本。发光效率是所有光源都有的问题，LED在这个方面比其他光源具有优势，但是在工艺上面还可以改进，可以通过工艺技术的不断提高，提高发光二极管的光效，其中就包括本文介绍的各种工艺[3]。

    散热问题一直是LED照明行业内难以解决的问题，输入LED的电能，大概五分之一会转化为光能，剩余的能量都转化为热量，热量难以散去，LED的内部便会温度变高，发光的效率就会降低，还会导致对LED的损坏，影响LED的寿命，降低光电器件的可靠性。散热一般通过辐射，传导进行散热。 来`自^优尔论*文-网www.youerw.com

    成本问题在工业发展中占据着很重要的地位，一个产业的前景和市场都取决于此，高精尖的技术和工艺在LED方面只能应用于科研方面，而高科技的LED产品还难以应用于工业生产。所以，如何提高LED产品的性价比，降低LED产品的成品，生产技术的产业化成为了行业内的重中之重[5-6]。