3 PSS的制作方法及参数表征

湿法刻蚀制备蓝宝石图形衬底是最早的刻蚀蓝宝石沉底的办法，H3PO4、H2SO4等是通常使用的刻蚀溶液,300~500℃是比较合适的刻蚀温度, 溶液混合的比例、溶液的温度、刻蚀的时间等各种因素影响了刻蚀的效果和深度. 然而, 湿法刻蚀有个弊端，湿法刻蚀不仅仅会横向刻蚀，也会在同时发生纵向刻蚀,这样一来刻出来的图形质量就会很低，影响LED的光学性能和出光效率。

干法刻蚀技术是目前国内外使用最多的制备蓝宝石衬底的图形技术，一般使用电感耦合等离子体系统来制造PSS。

PSS生产过程如图1所示，一共包括四个步骤，第一步是制作一个掩模层，光刻胶，SiO2和SiNx是通常制作掩蔽层所需要的材料。 第二个步骤是制作掩蔽图形，使用光刻技术在掩蔽层刻画图形，第三张图片的过程是把掩蔽层的图案转移到蓝宝石衬底上面，最后一个图片的步骤是把掩蔽层除去，其中，图形化蓝宝石衬底的质量主要取决于第三个部分。