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    公司已有的验证仪器如下:
    ▪ 测量温度湿度的仪器:数字温湿度计
    ▪ 测量风量的仪器:风量罩
    ▪ 测量压差的仪器:倾斜式微压计加上毕托管(测压管)
    ▪ 测量洁净室洁净度的仪器:粒子计数器
    ▪ 浮游菌采样仪器:浮游菌采样仪
      沉降菌采样仪器:φ90mm(TSA)培养皿
    ▪ 测量风压的仪器:微压表
    ▪ 测量风速的仪器:手持式风速仪
    3.1.3 空气净化系统安装确认的主要内容
    安装确认的主要内容有:空气处理设备的安装确认,安装的确认、风管制作,风管及空调设备清洁的确认,空调设备所用的仪表以及测试仪器的一览表及检定报告,空气净化系统操作手册,标准操作规程及控制标准,高效过滤器的检漏试验。[1] [3]
    3.1.4 空气净化系统的运行确认
        空气净化系统的运行确认(OQ)是为了证明空调净化系统是否达到设计要求及生产工艺要求而进行的实际运行试验。在安装确认阶段,除了做PAO检漏试验需开动风机外,其余设备可以不开启;在运行确认阶段,所有的空调设备必须开启,与空调系统有关的工艺排风机、除尘机也必须开启,以利于空气平衡,调节房间的压力。[1] [3]

    3.2 空调净化系统验证的各项程序与指标
    3.2.1 高效过滤器的确认
        高效过滤器的性能检测:
    工作原理:在被检测高效过滤器上游侧加入已知直径的气溶胶颗粒,过滤器下游侧经过高效过滤器过滤后的气体中气溶胶的含量。然后对过滤前后气溶胶的量进行数理统计,得出高效过滤器的过滤效率。
       —检漏实验方法 DOP和PAO(d=0.3μm,>3500个/升)
       —扫描方法     探头移动速度v<5cm/s
       —判断标准     η≧99.97%
       —总检漏评价
    高效过滤器下游侧大气尘或气溶胶对上游侧0.3μm和0.5μm粒径应分别达到3×10-4与1×10-4以下。累计修理面积大于总面积的5%时,过滤器应报废。[1] [3]
    目的:确认高效过滤器的完整性符合要求。
        程序:a确认高效过滤器的完整性:取一已校准过的尘埃粒子计数器;
              b将其取样口置于离高效过滤器约2cm处以5mm/s以下的速度巡检;
              c对被检过滤器整个断面、封头胶和安装框架处进行扫描。
    标准:完整性测试过程中,尘埃粒子计数器的读数应无明显的波动。
    3.2.2 房间送风量与换气次数确认
        目的:检查房间的送风量和均匀性;确认每个房间的换气次数;确认百级单向流风速。
        程序:在测试时,关闭洁净室所有门,使用已校准风量罩直接测量,读出过滤器送风量值(m3/h),连续测试3次,取平均值。对洁净室内所有过滤器进行分别测试后计算总风量。根据各洁净室送风量值(m3/h)和洁净室体积换算换气次数,计算如下:换气次数(次/小时)=洁净室送风量(m3/h)/洁净室体积(m3)
        使用手持式风速仪测定所有单向流的风速。
        标准:十万级洁净室换气次数≥15次/小时
         万级洁净室换气次数≥25次/小时
              垂直单向流风速:≥0.25m/s
    3.2.3 房间静压差的确认
        目的:确认洁净室相邻房间的压差。
        程序:采用经校准的微压差计来测量不同房间的静态压差。
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